| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 课题背景 | 第9页 |
| 1.2 磁控溅射技术 | 第9-22页 |
| 1.2.1 磁控溅射原理 | 第10-11页 |
| 1.2.2 高功率磁控溅射技术 | 第11-22页 |
| 1.3 双脉冲磁控溅射技术的提出 | 第22-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 试验材料材料及方法 | 第24-30页 |
| 2.1 试验材料制备及试验设备 | 第24-25页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.1.2 试样制备 | 第24页 |
| 2.1.3 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.2 试验方法 | 第25-30页 |
| 2.2.1 双脉冲高功率放电特性及光谱试验 | 第25-28页 |
| 2.2.2 CrN薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 2.2.3 分析测试方法 | 第29-30页 |
| 第3章 双脉冲高功率放电特性的研究 | 第30-49页 |
| 3.1 双脉冲高功率与单脉冲高功率放电特性的对比 | 第30-32页 |
| 3.2 引燃脉冲电压对双脉冲高功率放电特性的影响 | 第32-35页 |
| 3.3 引燃脉冲脉宽对双脉冲高功率放电特性的影响 | 第35-38页 |
| 3.4 工作脉冲电压对双脉冲高功率放电特性的影响 | 第38-41页 |
| 3.5 工作脉冲脉宽对双脉冲高功率放电特性的影响 | 第41-44页 |
| 3.6 气压对双脉冲高功率放电特性的影响 | 第44-47页 |
| 3.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 双脉冲高功率光谱特性的研究 | 第49-60页 |
| 4.1 双脉冲高功率与传统高功率光谱特性的对比 | 第49-52页 |
| 4.2 引燃脉冲电压对双脉冲高功率光谱特性的影响 | 第52-53页 |
| 4.3 引燃脉冲脉宽对双脉冲高功率光谱特性的影响 | 第53-54页 |
| 4.4 工作脉冲电压对双脉冲高功率光谱强度的影响 | 第54-56页 |
| 4.5 工作脉冲脉宽对双脉冲高功率光谱特性的影响 | 第56-57页 |
| 4.6 气压对双脉冲高功率光谱特性的影响 | 第57-58页 |
| 4.7 本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 双脉冲高功率制备的CrN薄膜结构性能研究 | 第60-76页 |
| 5.1 工艺参数对CrN薄膜表面与截面的影响 | 第60-65页 |
| 5.1.1 传统高功率制备的CrN薄膜表面与截面形貌 | 第60页 |
| 5.1.2 引燃脉冲电压对CrN薄膜表面与截面的影响 | 第60-63页 |
| 5.1.3 引燃脉冲脉宽对CrN薄膜表面与截面的影响 | 第63-65页 |
| 5.2 工艺参数对CrN薄膜结构的影响 | 第65-66页 |
| 5.2.1 引燃脉冲电压对CrN薄膜结构的影响 | 第65页 |
| 5.2.2 引燃脉冲脉宽对CrN薄膜结构的影响 | 第65-66页 |
| 5.3 工艺参数下CrN薄膜压痕形貌的影响 | 第66-68页 |
| 5.3.1 引燃脉冲电压对CrN薄膜压痕形貌的影响 | 第66-67页 |
| 5.3.2 引燃脉冲脉宽对CrN薄膜压痕形貌的影响 | 第67-68页 |
| 5.4 工艺参数对CrN薄膜硬度的影响 | 第68-70页 |
| 5.4.1 引燃脉冲电压对CrN薄膜硬度的影响 | 第68-69页 |
| 5.4.2 引燃脉冲脉宽对CrN薄膜硬度的影响 | 第69-70页 |
| 5.5 工艺参数对CrN薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第70-74页 |
| 5.5.1 引燃脉冲电压对CrN薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第70-72页 |
| 5.5.2 引燃脉冲脉宽对CrN薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第72-74页 |
| 5.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
