| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-10页 |
| 1.1.1 微机电系统 | 第8-9页 |
| 1.1.2 可制造性设计 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 MEMS加工工艺 | 第10页 |
| 1.2.2 可制造性设计研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 论文研究内容及意义 | 第12页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第12-14页 |
| 第二章 主要工艺偏差与固支梁和梳状谐振器特性 | 第14-24页 |
| 2.1 主要的工艺偏差 | 第14-16页 |
| 2.1.1 DRIE工艺偏差 | 第14-15页 |
| 2.1.2 Footing效应 | 第15页 |
| 2.1.3 TMDE工艺偏差 | 第15-16页 |
| 2.1.4 圆弧拐角 | 第16页 |
| 2.2 固支梁的动力学行为 | 第16-20页 |
| 2.2.1 谐振频率 | 第17-18页 |
| 2.2.2 振幅 | 第18-19页 |
| 2.2.3 吸合电压 | 第19-20页 |
| 2.3 横向静电驱动梳状谐振器的动力学行为 | 第20-24页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3.2 梳状谐振器动力学原理 | 第21-24页 |
| 第三章 工艺偏差对固支梁特性的影响 | 第24-40页 |
| 3.1 几何尺寸变化对固支梁性能的影响 | 第24-29页 |
| 3.1.1 几何尺寸变化对固支梁谐振频率的影响 | 第25-27页 |
| 3.1.2 几何尺寸变化对固支梁振幅的影响 | 第27-28页 |
| 3.1.3 几何尺寸变化对固支梁吸合电压的影响 | 第28-29页 |
| 3.2 器件剖面形状对固支梁性能的影响 | 第29-35页 |
| 3.2.1 DRIE工艺偏差对固支梁性能的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.2 Footing效应对固支梁性能的影响 | 第30-33页 |
| 3.2.3 TMDE工艺偏差对固支梁性能的影响 | 第33-35页 |
| 3.3 圆弧拐角对固支梁性能的影响 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-40页 |
| 第四章 工艺偏差对静电驱动梳状谐振器特性的影响 | 第40-52页 |
| 4.1 几何尺寸变化对梳状谐振器性能的影响 | 第40-44页 |
| 4.1.1 几何尺寸对梳状谐振器谐振频率的影响 | 第41-43页 |
| 4.1.2 几何尺寸对梳状谐振器振幅的影响 | 第43-44页 |
| 4.2 器件剖面形状对梳状谐振器性能的影响 | 第44-49页 |
| 4.2.1 DRIE工艺偏差对梳状谐振器性能的影响 | 第45-47页 |
| 4.2.2 Footing效应对梳状谐振器的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.3 TMDE工艺偏差对梳状谐振器的影响 | 第48-49页 |
| 4.3 杨氏模量对梳状谐振器的影响 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 考虑工艺偏差的设计理论修正 | 第52-56页 |
| 5.1 对固支梁的修正 | 第52-54页 |
| 5.2 对梳状谐振器的修正 | 第54-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 总结 | 第56页 |
| 6.2 展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 作者简介 | 第64页 |