| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第8-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| CONTENTS | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| ·研究背景及意义 | 第17-19页 |
| ·硅片超精密磨削技术与超精密磨削砂轮 | 第19-22页 |
| ·硅片超精密磨削技术 | 第19-21页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮 | 第21-22页 |
| ·国内外研究现状 | 第22-25页 |
| ·硅片超精密磨削技术研究现状 | 第22-24页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮研究现状 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第25页 |
| ·本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 硅片超精密磨削用砂轮配方设计原则和制备工艺研究 | 第27-33页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的性能要求分析 | 第27-28页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮配方设计原则 | 第28-29页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮制备工艺设计原则 | 第29页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的配方和制备工艺设计 | 第29-32页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的配方设计 | 第29-31页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮制备工艺设计 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 硅片超精密磨削用砂轮的制备与性能检测方法 | 第33-42页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的制备工艺流程分析 | 第33-36页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的混料工艺 | 第34页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的热压成型工艺 | 第34-35页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮的硬化工艺 | 第35-36页 |
| ·硅片超精密磨削机床与工件 | 第36-38页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮物理性能评价指标及其检测方法 | 第38-39页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮气孔率检测方法 | 第38页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮硬度检测方法 | 第38-39页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮强度检测方法 | 第39页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮磨削性能评价指标及其检测方法 | 第39-41页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮磨削比的测量 | 第39-40页 |
| ·硅片超精密磨削用砂轮磨削效率检测 | 第40页 |
| ·硅片超精密磨削加工硅片表面质量检测 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 硅片超精密磨削用砂轮配方对砂轮性能影响规律的研究 | 第42-70页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮性能影响 | 第42-48页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮气孔率的影响 | 第43页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮硬度的影响 | 第43-44页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮强度的影响 | 第44-45页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮磨削比的影响 | 第45-46页 |
| ·树脂结合剂含量对砂轮磨削效率的影响 | 第46-47页 |
| ·树脂结合剂含量对硅片表面质量的影响 | 第47-48页 |
| ·金刚石含量对砂轮性能的影响 | 第48-54页 |
| ·金刚石含量对砂轮气孔率的影响 | 第49页 |
| ·金刚石含量对砂轮硬度的影响 | 第49-50页 |
| ·金刚石含量对砂轮强度的影响 | 第50页 |
| ·金刚石含量对砂轮磨削比的影响 | 第50-51页 |
| ·金刚石含量对砂轮磨削效率的影响 | 第51-52页 |
| ·金刚石含量对硅片表面质量的影响 | 第52-54页 |
| ·造孔剂对硅片超精密磨削用砂轮磨削性能的影响 | 第54-68页 |
| ·气孔的大小计算公式理论推导与实验验证 | 第54-56页 |
| ·气孔率的计算公式理论推导与实验验证 | 第56-59页 |
| ·碳酸氢钠颗粒尺寸对多孔磨削硅片砂轮性能的影响 | 第59-64页 |
| ·碳酸氢钠含量对多孔硅片超精密磨削用砂性能的影响 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 硅片超精密磨削用砂轮制备工艺对砂轮性能影响规律的研究 | 第70-82页 |
| ·成型压力对砂轮性能的影响 | 第70-75页 |
| ·成型压力对砂轮气孔率的影响 | 第70-71页 |
| ·成型压力对砂轮硬度的影响 | 第71-72页 |
| ·成型压力对砂轮强度的影响 | 第72-73页 |
| ·成型压力对砂轮磨削比的影响 | 第73-74页 |
| ·成型压力对砂轮磨削效率的影响 | 第74页 |
| ·成型压力对硅片表面质量的影响 | 第74-75页 |
| ·硬化温度对砂轮性能的影响 | 第75-81页 |
| ·硬化温度对砂轮气孔率的影响 | 第76-77页 |
| ·硬化温度对砂轮硬度的影响 | 第77-78页 |
| ·硬化温度对砂轮强度的影响 | 第78页 |
| ·硬化温度对砂轮磨削比的影响 | 第78-79页 |
| ·硬化温度对砂轮磨削效率的影响 | 第79-80页 |
| ·硬化温度对硅片表面质量的影响 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 结论与展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
