| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 表面形貌检测方法及国内外现状 | 第14-23页 |
| 1.2.1 点探测轮廓法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 线探测轮廓法 | 第15页 |
| 1.2.3 光学干涉测量法 | 第15-23页 |
| 1.3 ICF微球型靶丸全表面形貌检测方法及国内外现状 | 第23-26页 |
| 1.4 本课题研究需要解决的主要问题 | 第26-28页 |
| 1.5 课题来源及主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第2章 微球靶丸移相衍射干涉测量方法研究 | 第29-47页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 靶丸全表面形貌检测基本原理 | 第29-31页 |
| 2.3 基于标量衍射理论的衍射波前质量分析 | 第31-33页 |
| 2.4 基于偏振控制的移相衍射干涉测量方法 | 第33-39页 |
| 2.4.1 基于偏振控制的移相衍射干涉靶丸全表面形貌检测方法 | 第34-35页 |
| 2.4.2 干涉光路的琼斯矩阵表述 | 第35-36页 |
| 2.4.3 干涉信号对比度仿真分析 | 第36-37页 |
| 2.4.4 点衍射检测波光场畸变标定方法 | 第37-39页 |
| 2.5 系统光机结构设计 | 第39-44页 |
| 2.5.1 光路结构设计 | 第39-40页 |
| 2.5.2 靶丸控制系统设计 | 第40页 |
| 2.5.3 系统整体结构设计 | 第40-41页 |
| 2.5.4 电气系统设计 | 第41-42页 |
| 2.5.5 针孔掩膜板参数设计及加工 | 第42-44页 |
| 2.6 靶丸全表面形貌检测流程 | 第44-46页 |
| 2.7 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 相位信息提取技术研究 | 第47-63页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 解相算法 | 第47-55页 |
| 3.2.1 线性移相误差 | 第47-49页 |
| 3.2.2 典型解相算法 | 第49页 |
| 3.2.3 基于误差互补修正的五帧解相算法 | 第49-53页 |
| 3.2.4 解相算法仿真验证 | 第53-55页 |
| 3.3 相位解包裹 | 第55-62页 |
| 3.3.1 相位区间模 2π 扩展 | 第56页 |
| 3.3.2 最小范数法相位解包裹原理 | 第56-58页 |
| 3.3.3 最小二乘算法的迭代求解方法 | 第58-60页 |
| 3.3.4 圆形域的最小二乘迭代解包裹算法 | 第60-61页 |
| 3.3.5 解包裹算法的仿真验证 | 第61-62页 |
| 3.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 偏心误差修正方法研究 | 第63-77页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 靶丸检测中的偏心误差分析与修正 | 第63-70页 |
| 4.2.1 横向偏心误差模型分析 | 第63-66页 |
| 4.2.2 轴向偏心误差模型分析 | 第66-69页 |
| 4.2.3 偏心误差修正方法及流程 | 第69-70页 |
| 4.3 归一化极径近似误差的分析与修正 | 第70-74页 |
| 4.4 系统结构参数的标定方法 | 第74-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 子孔径数据拼接技术研究 | 第77-98页 |
| 5.1 引言 | 第77页 |
| 5.2 子孔径的排布及拼接流程 | 第77-78页 |
| 5.3 基于映射图像匹配的子孔径数据拼接 | 第78-87页 |
| 5.3.1 横向分辨率分析 | 第79-80页 |
| 5.3.2 图像特征等尺度变换 | 第80-81页 |
| 5.3.3 映射图像匹配所需的相关算法 | 第81-85页 |
| 5.3.4 基于映射图像匹配的拼接方法仿真验证 | 第85-87页 |
| 5.4 基于点云匹配的子孔径数据拼接 | 第87-97页 |
| 5.4.1 迭代最近点匹配算法原理 | 第88-90页 |
| 5.4.2 形貌数据的三维空间坐标还原 | 第90-91页 |
| 5.4.3 ICP算法的应用局限性分析 | 第91-94页 |
| 5.4.4 基于虚拟极小半径横向压缩的点云匹配方法 | 第94-97页 |
| 5.5 本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 实验结果及误差分析 | 第98-117页 |
| 6.1 引言 | 第98页 |
| 6.2 实验装置 | 第98-99页 |
| 6.3 参数标定结果 | 第99-101页 |
| 6.3.1 结构参数标定结果 | 第99-101页 |
| 6.3.2 系统误差标定结果 | 第101页 |
| 6.4 实际测量结果 | 第101-108页 |
| 6.4.1 单孔径测量结果 | 第101-105页 |
| 6.4.2 子孔径数据拼接结果 | 第105-108页 |
| 6.5 误差分析 | 第108-116页 |
| 6.6 本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-128页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与其他成果 | 第128-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 个人简历 | 第133页 |
