石英摆线微应变驱动设计
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 低频范围隔振技术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 磁致伸缩材料与光纤的耦合方式研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3.1 直接粘贴式 | 第14-16页 |
| 1.3.2 表面涂覆式 | 第16-18页 |
| 1.4 超磁致伸缩薄膜驱动器的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 复合摆线微应变驱动系统理论分析 | 第22-37页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 光纤光栅的应变和温度敏感特性 | 第22-27页 |
| 2.2.1 光纤布拉格光栅的理论模型 | 第22-25页 |
| 2.2.2 光纤光栅应变和温度敏感特性理论分析 | 第25-27页 |
| 2.3 超磁致伸缩材料磁机特性 | 第27-29页 |
| 2.4 复合摆线微应变的原理 | 第29-30页 |
| 2.5 GMA驱动系统的原理 | 第30-36页 |
| 2.5.1 GMA内部磁场的理论计算 | 第30-34页 |
| 2.5.2 GMA内部磁场的COMSOL仿真分析 | 第34-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 表面微结构的设计与理论分析 | 第37-47页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 微结构的形貌设计 | 第37-38页 |
| 3.3 微结构的灵敏度放大系数理论分析 | 第38-42页 |
| 3.4 微结构应力分布的ANSYS有限元分析 | 第42-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 微结构的刻蚀与镀膜 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 石英摆线微直槽的刻蚀 | 第47-51页 |
| 4.2.1 刻蚀系统的原理 | 第47-49页 |
| 4.2.2 刻蚀结果与分析 | 第49-51页 |
| 4.3 石英摆线表面TbDyFe薄膜的制备 | 第51-57页 |
| 4.3.1 磁控溅射镀膜原理 | 第51-52页 |
| 4.3.2 TbDyFe薄膜的制备 | 第52-55页 |
| 4.3.3 TbDyFe薄膜磁致伸缩系数的测量 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 复合摆线驱动系统实验与分析 | 第58-71页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 温度对FBG中心波长的影响及消除 | 第58-60页 |
| 5.2.1 光谱仪稳定性试验 | 第58-59页 |
| 5.2.2 温度对FBG中心波长的影响 | 第59-60页 |
| 5.3 不同表面结构复合摆线磁场敏感性 | 第60-62页 |
| 5.3.1 无微结构摆线磁场敏感性 | 第60-61页 |
| 5.3.2 有微结构摆线磁场敏感性 | 第61-62页 |
| 5.4 摆线微应变驱动系统的搭建和实验 | 第62-69页 |
| 5.4.1 实验系统的搭建 | 第62-63页 |
| 5.4.2 石英摆线应变与磁场的关系 | 第63-64页 |
| 5.4.3 磁场中石英摆线应变的磁滞特性 | 第64页 |
| 5.4.4 石英摆线的分辨力 | 第64-65页 |
| 5.4.5 石英摆线响应特性 | 第65-69页 |
| 5.5 驱动系统的稳定性 | 第69-70页 |
| 5.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
