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基于双重预测PI的单晶硅直径控制系统

摘要第5-7页
ABSTRUCT第7-8页
第一章 绪论第11-17页
    1.1 研究的背景及意义第11-16页
    1.2 研究的主要内容第16页
    1.3 本文的结构和安排第16-17页
第二章 双重控制第17-22页
    2.1 引言第17页
    2.2 双重控制的基本结构第17-18页
    2.3 双重控制系统的性能分析第18-19页
    2.4 双重控制系统在工程中的应用第19-21页
        2.4.1 原油出口温度的双重控制第20页
        2.4.2 烟叶复烤过程的双重控制第20-21页
        2.4.3 双重控制系统使用时应注意的问题第21页
    2.5 本章小结第21-22页
第三章 双重预测PI控制系统第22-34页
    3.1 引言第22页
    3.2 PID控制原理第22-24页
    3.3 Smith预估器原理第24-26页
    3.4 预测PI控制算法第26-30页
    3.5 双重预测PI控制算法第30-31页
    3.6 副控制为纯积分环节的双重控制第31-33页
    3.7 本章小结第33-34页
第四章 单晶硅直径控制系统的设计第34-57页
    4.1 引言第34页
    4.2 直拉式单晶硅的生产过程第34-35页
    4.3 液面温度的Kalman滤波第35-36页
    4.4 基于单晶硅生长过程的双重控制策略第36-39页
    4.5 控制系统的simulink仿真第39-56页
        4.5.1 基于单闭环控制的仿真第40-41页
        4.5.2 基于双重控制策略的仿真第41-56页
    4.6 本章小结第56-57页
第五章 基于OPTO22 PAC的单晶硅直径控制系统第57-69页
    5.1 引言第57页
    5.2 开发平台的选择第57-59页
    5.3 软件开发与设计第59-62页
    5.4 OPTO22和simulink的数据交互第62-68页
    5.5 本章小结第68-69页
第六章 总结和展望第69-71页
    6.1 全文总结第69-70页
    6.2 工作展望第70-71页
参考文献第71-74页
攻读硕士期间参加的项目和发表的论文第74-75页
致谢第75页

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