| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第18-37页 |
| 1.1 气敏传感器概述 | 第18-20页 |
| 1.2 电阻式半导体气敏传感器 | 第20-27页 |
| 1.2.1 电阻式半导体气敏传感器发展与分类 | 第20-24页 |
| 1.2.2 电阻式半导体气敏传感器的气敏机理 | 第24-26页 |
| 1.2.3 电阻式半导体气敏传感器的主要特性参数 | 第26-27页 |
| 1.3 半导体气敏传感器尚待解决的问题 | 第27-29页 |
| 1.4 ZnO简介 | 第29-34页 |
| 1.4.1 ZnO的结构 | 第29-32页 |
| 1.4.2 ZnO应用前景 | 第32-33页 |
| 1.4.3 ZnO气敏传感器 | 第33-34页 |
| 1.5 选题的依据和本文主要工作 | 第34-37页 |
| 2 ZnO微米线的生长与表征 | 第37-51页 |
| 2.1 ZnO微纳米结构的生长机理 | 第37-41页 |
| 2.1.1 气-液-固(VLS)生长机理 | 第37-38页 |
| 2.1.2 气-固(VS)生长机理 | 第38-39页 |
| 2.1.3 螺旋位错生长机理 | 第39页 |
| 2.1.4 极性面控制生长机理 | 第39-40页 |
| 2.1.5 溶液-液相-固相(SLS)生长机理 | 第40-41页 |
| 2.1.6 模板辅助生长机理 | 第41页 |
| 2.2 ZnO微纳米结构的生长方法 | 第41-45页 |
| 2.2.1 化学气相沉积方法 | 第43页 |
| 2.2.2 水热法 | 第43-44页 |
| 2.2.3 分子束外延法 | 第44页 |
| 2.2.4 溶胶-凝胶(Sol-gel)法 | 第44-45页 |
| 2.2.5 模板法 | 第45页 |
| 2.3 相关表征技术 | 第45-51页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第45-47页 |
| 2.3.2 光致发光谱 | 第47页 |
| 2.3.3 X射线衍射谱(XRD) | 第47-49页 |
| 2.3.4 透射电子显微镜(TEM) | 第49-50页 |
| 2.3.5 电学性能测量 | 第50-51页 |
| 3 ZnO微米线的制备及其在酒精气体传感器中的应用 | 第51-63页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 ZnO微米线的制备 | 第51-54页 |
| 3.2.1 实验准备 | 第51-52页 |
| 3.2.2 ZnO微米线的制备 | 第52-54页 |
| 3.3 ZnO微米线气敏器件的制备与性能测试 | 第54-56页 |
| 3.3.1 气敏器件的制备 | 第54-55页 |
| 3.3.2 气敏器件的性能测试 | 第55-56页 |
| 3.3.3 特性表征 | 第56页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第56-61页 |
| 3.4.1 ZnO MWs形貌 | 第56-57页 |
| 3.4.2 ZnO酒精气敏器件传感性能 | 第57-59页 |
| 3.4.3 ZnO酒精气敏器件传感机理 | 第59-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 4 曲边ZnO微米线酒精气体传感器 | 第63-72页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 曲边ZnO微米线的制备及其酒精气敏性能测试 | 第63-64页 |
| 4.2.1 曲边ZnO微米线的制备 | 第63-64页 |
| 4.2.2 曲边ZnO微米线气敏器件的制备与性能测试 | 第64页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第64-71页 |
| 4.3.1 ZnO CMW形貌 | 第64-66页 |
| 4.3.2 ZnO CMW酒精气敏器件传感性能 | 第66-68页 |
| 4.3.3 ZnO CMW酒精气敏器件传感机理 | 第68-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 Au/ZnO微米线酒精传感器 | 第72-93页 |
| 5.1 引言 | 第72页 |
| 5.2 实验 | 第72-75页 |
| 5.2.1 Au/ZnO微米线气敏器件的制备 | 第72-74页 |
| 5.2.2 Au/ZnO MW气敏器件性能测试 | 第74-75页 |
| 5.2.3 特性表征 | 第75页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第75-91页 |
| 5.3.1 SEM、TEM和EDS结果分析 | 第75-78页 |
| 5.3.2 X射线衍射(XRD)结果分析 | 第78-79页 |
| 5.3.3 光学性质分析 | 第79-81页 |
| 5.3.4 Ⅰ-Ⅴ特性 | 第81-83页 |
| 5.3.5 Au/ZnO MW酒精气敏器件传感性能 | 第83-89页 |
| 5.3.6 Au/ZnO MW酒精气敏器件传感机理 | 第89-91页 |
| 5.4 本章小结 | 第91-93页 |
| 6 结论与展望 | 第93-95页 |
| 6.1 结论 | 第93-94页 |
| 6.2 创新点 | 第94页 |
| 6.3 展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-106页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| 作者简介 | 第108页 |
