多模态原子力显微镜改进及实验
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-21页 |
| 1.1 前言 | 第16-17页 |
| 1.2 原子力显微镜（AFM） | 第17-19页 |
| 1.2.1 原子力显微镜（AFM）的工作原理 | 第17-18页 |
| 1.2.2 原子力显微镜（AFM）的工作模式 | 第18-19页 |
| 1.3 课题来源及研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第19-20页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 微悬臂振动模型与高阶谐振特性分析 | 第21-26页 |
| 2.1 微悬臂振型分析 | 第21-22页 |
| 2.2 微悬臂高阶谐振特性分析 | 第22-26页 |
| 2.2.1 机械振幅空间分辨力 | 第22-23页 |
| 2.2.2 相位灵敏度 | 第23-24页 |
| 2.2.3 频率灵敏度 | 第24-26页 |
| 第三章 多模AFM系统组成及原理 | 第26-31页 |
| 3.1 系统组成 | 第26-29页 |
| 3.1.1 机械设计部分 | 第26-29页 |
| 3.2 系统工作原理 | 第29-31页 |
| 第四章 系统硬件电路 | 第31-49页 |
| 4.1 硬件电路总框图 | 第31-32页 |
| 4.2 四象限光电二极管信号处理电路 | 第32-33页 |
| 4.3 接触模式信号提取电路 | 第33页 |
| 4.4 动态模式电路设计 | 第33-49页 |
| 4.4.1 振幅反馈电路设计 | 第34页 |
| 4.4.2 相位反馈电路设计 | 第34-36页 |
| 4.4.3 频率反馈电路设计 | 第36-49页 |
| 第五章 多模态原子力显微镜系统实验结果及分析 | 第49-61页 |
| 5.1 接触模式实验结果及分析 | 第49-51页 |
| 5.1.1 接触模式系统性能测试 | 第49-51页 |
| 5.2 动态模式实验结果及分析 | 第51-61页 |
| 5.2.1 振幅反馈系统性能测试 | 第51-54页 |
| 5.2.2 相位反馈系统性能测试 | 第54-58页 |
| 5.2.3 频率反馈系统性能测试 | 第58-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 总结 | 第61页 |
| 6.2 存在的问题及工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第66-67页 |
