| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第10-31页 |
| 1.1 多晶硅行业及副产物四氯化硅简介 | 第10-13页 |
| 1.1.1 多晶硅行业简介 | 第10页 |
| 1.1.2 改良西门子法生产多晶硅流程介绍 | 第10-12页 |
| 1.1.3 我国多晶硅行业存在的问题 | 第12-13页 |
| 1.2 多晶硅生产副产物四氯化硅综合利用技术 | 第13-17页 |
| 1.2.1 生产气相法白炭黑 | 第13-14页 |
| 1.2.2 生产硅酸乙酯等有机硅产品 | 第14-15页 |
| 1.2.3 还原制备三氯氢硅 | 第15-17页 |
| 1.2.4 提纯精制生产高纯四氯化硅 | 第17页 |
| 1.3 高纯四氯化硅精制工艺研究进展 | 第17-22页 |
| 1.3.1 精馏法 | 第17-19页 |
| 1.3.2 吸附法 | 第19页 |
| 1.3.3 部分水解法 | 第19-20页 |
| 1.3.4 光化反应法 | 第20-21页 |
| 1.3.5 低温等离子法 | 第21页 |
| 1.3.6 其他方法 | 第21-22页 |
| 1.4 化工过程模拟及Aspen Plus软件介绍 | 第22-23页 |
| 1.4.1 化工过程模拟 | 第22页 |
| 1.4.2 化工过程模拟软件Aspen Plus介绍 | 第22-23页 |
| 1.5 差压热耦合精馏节能技术及隔板精馏节能技术介绍 | 第23-28页 |
| 1.5.1 差压热耦合精馏节能技术 | 第23-24页 |
| 1.5.2 隔壁精馏节能技术 | 第24-25页 |
| 1.5.3 隔壁精馏工艺模拟 | 第25-26页 |
| 1.5.4 隔壁精馏工艺模拟方法 | 第26-28页 |
| 1.6 吸附法精制高纯四氯化硅研究进展 | 第28-30页 |
| 1.6.1 离子交换树脂作为吸附剂 | 第28-29页 |
| 1.6.2 硅胶作为吸附剂 | 第29页 |
| 1.6.3 其他吸附剂 | 第29-30页 |
| 1.7 本文研究目的及意义 | 第30-31页 |
| 第二章 精馏法制备高纯四氯化硅工艺设计与模拟 | 第31-42页 |
| 2.1 高纯四氯化硅精制流程的建立 | 第31-33页 |
| 2.1.1 四氯化硅进料及组成 | 第31-32页 |
| 2.1.2 工艺流程 | 第32-33页 |
| 2.2 高纯四氯化硅精制工艺简捷模拟 | 第33-35页 |
| 2.2.1 物料衡算 | 第33-34页 |
| 2.2.2 操作压力确定 | 第34页 |
| 2.2.3 物性方法选择 | 第34-35页 |
| 2.2.4 DSTWU简捷计算 | 第35页 |
| 2.3 高纯四氯化硅精制工艺严格模拟 | 第35-40页 |
| 2.3.1 塔板数的选择 | 第35-37页 |
| 2.3.2 进料位置优化 | 第37-38页 |
| 2.3.3 回流比优化 | 第38-40页 |
| 2.4 高纯四氯化硅精制工艺模拟优化结果 | 第40-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 差压热耦合节能技术在四氯化硅精制工艺中的应用 | 第42-48页 |
| 3.1 差压热耦合节能工艺的建立 | 第42-44页 |
| 3.1.1 温度的匹配 | 第42-43页 |
| 3.1.2 热负荷的匹配 | 第43-44页 |
| 3.2 差压热耦合节能精馏工艺的模拟 | 第44-46页 |
| 3.2.1 差压热耦合节能精馏工艺流程 | 第44-45页 |
| 3.2.2 差压热耦合节能精馏工艺操作参数 | 第45-46页 |
| 3.3 差压热耦合节能精馏工艺经济性分析 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 隔壁精馏技术在四氯化硅精制工艺中的应用 | 第48-56页 |
| 4.1 隔壁精馏工艺建立与模拟 | 第48-50页 |
| 4.1.1 隔壁精馏工艺精制四氯化硅的工艺流程 | 第48-49页 |
| 4.1.2 隔壁精馏工艺的简捷模拟 | 第49-50页 |
| 4.2 隔壁精馏工艺参数优化 | 第50-54页 |
| 4.2.1 回流比优化 | 第50-51页 |
| 4.2.2 进料位置优化 | 第51页 |
| 4.2.3 隔壁精馏塔气液相分配比优化 | 第51-54页 |
| 4.2.4 产品采出位置优化 | 第54页 |
| 4.3 隔壁精馏塔操作参数优化结果 | 第54-55页 |
| 4.4 隔壁精馏塔经济性分析 | 第55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 高纯四氯化硅吸附法除硼研究 | 第56-68页 |
| 5.1 实验准备部分 | 第56-58页 |
| 5.1.1 吸附剂的选择 | 第56-57页 |
| 5.1.2 吸附剂的预处理 | 第57-58页 |
| 5.1.3 含硼氯硅烷的配制 | 第58页 |
| 5.1.4 硼含量的检测 | 第58页 |
| 5.2 实验仪器与设备 | 第58-59页 |
| 5.3 实验方法 | 第59-60页 |
| 5.3.1 吸附剂的筛选 | 第59页 |
| 5.3.2 吸附剂用量的影响 | 第59-60页 |
| 5.3.3 吸附温度的影响 | 第60页 |
| 5.3.4 吸附剂含水量的影响 | 第60页 |
| 5.3.5 吸附动力学研究 | 第60页 |
| 5.4 实验结果分析 | 第60-63页 |
| 5.4.1 吸附剂的筛选结果分析 | 第60-61页 |
| 5.4.2 吸附剂用量对吸附效果影响 | 第61-62页 |
| 5.4.3 吸附温度对吸附效果的影响 | 第62-63页 |
| 5.4.4 吸附剂含水量对吸附效果影响 | 第63页 |
| 5.5 吸附动力学研究 | 第63-67页 |
| 5.5.1 吸附动力学实验结果 | 第64页 |
| 5.5.2 树脂吸附动力学分析 | 第64-65页 |
| 5.5.3 吸附动力学结果拟合 | 第65-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
