| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 现代控制系统概述 | 第10-12页 |
| 1.2.1 现代控制系统的发展历程 | 第10页 |
| 1.2.2 现代控制系统的算法与控制策略 | 第10-11页 |
| 1.2.3 现代控制系统的性能指标 | 第11页 |
| 1.2.4 现代控制系统的主要特点 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状综述 | 第12页 |
| 1.3.1 国内研究情况 | 第12页 |
| 1.3.2 国外研究情况 | 第12页 |
| 1.4 论文研究的内容 | 第12-13页 |
| 1.5 论文结构及构想 | 第13页 |
| 1.6 本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 ControlLogix控制系统 | 第14-26页 |
| 2.1 ControlLogix的特点 | 第14-16页 |
| 2.1.1 ControlLogix系统的编程环境 | 第14页 |
| 2.1.2 ControlLogix系统的控制功能 | 第14-15页 |
| 2.1.3 ControlLogix系统的主要特点 | 第15页 |
| 2.1.4 ControlLogix系统的I/O模块工作模式 | 第15-16页 |
| 2.2 Rockwell网络架构与通信技术 | 第16-23页 |
| 2.2.1 ControlLogix系统的网络通信模块 | 第16页 |
| 2.2.2 NetLinx开放的网络架构 | 第16-22页 |
| 2.2.3 ControlLogix系统的网络规划 | 第22页 |
| 2.2.4 网络体系结构安全性能预估 | 第22-23页 |
| 2.3 ControlLogix系统设计 | 第23-25页 |
| 2.3.1 ControlLogix系统的组态 | 第23页 |
| 2.3.2 ControlLogix控制器选择 | 第23页 |
| 2.3.3 程序文件的规划 | 第23-24页 |
| 2.3.4 数据文件的规划 | 第24页 |
| 2.3.5 控制器与I/O通信模块的规划 | 第24页 |
| 2.3.6 运动控制和过程控制的应用选择 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 鲁棒PID控制系统 | 第26-39页 |
| 3.1 鲁棒控制系统的发展历程 | 第26-27页 |
| 3.2 鲁棒控制系统的基本理论 | 第27-32页 |
| 3.2.1 Kharitonov区间理论 | 第27-28页 |
| 3.2.2 H_∞鲁棒控制理论 | 第28-32页 |
| 3.3 鲁棒控制系统的主要特点 | 第32页 |
| 3.4 鲁棒PID控制系统的设计 | 第32-37页 |
| 3.4.1 鲁棒控制系统的设计 | 第32-36页 |
| 3.4.2 鲁棒PID控制器设计 | 第36-37页 |
| 3.5 鲁棒PID控制系统的参数整定 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 等离子炉尾气控制系统的设计 | 第39-72页 |
| 4.1 等离子炉尾气控制系统的硬件设计 | 第39-50页 |
| 4.1.1 控制系统的工艺介绍 | 第39-41页 |
| 4.1.2 控制系统的技术方案及结构设计 | 第41-44页 |
| 4.1.3 控制系统的网络结构 | 第44-45页 |
| 4.1.4 等离子炉尾气系统的控制系统配置 | 第45-50页 |
| 4.2 等离子炉尾气控制系统的软件设计 | 第50-71页 |
| 4.2.1 建立通讯驱动 | 第50-53页 |
| 4.2.2 软件设计的任务 | 第53-54页 |
| 4.2.3 PLC程序设计 | 第54-57页 |
| 4.2.4 PLC站的程序设计 | 第57-64页 |
| 4.2.5 监控系统 | 第64-69页 |
| 4.2.6 建立数据和通讯连接 | 第69-70页 |
| 4.2.7 尾气系统设计特点 | 第70-71页 |
| 4.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 等离子尾气控制系统的实现 | 第72-83页 |
| 5.1 等离子炉尾气控制系统的硬件实现 | 第72-75页 |
| 5.1.1 关键元器件选型及安装 | 第72-74页 |
| 5.1.2 电气线路的连接 | 第74-75页 |
| 5.2 等离子炉尾气控制系统的软件实现 | 第75-80页 |
| 5.2.1 控制程序的实现 | 第75-77页 |
| 5.2.2 监控系统的实现 | 第77-80页 |
| 5.3 运行总结 | 第80-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 总结与展望 | 第83-86页 |
| 6.1 总结 | 第83-84页 |
| 6.2 展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
