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超精密宏动与微动驱动器设计

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-14页
   ·课题研究的背景及意义第9-10页
   ·电机驱动技术研究现状第10-13页
     ·交流电机控制方式第10-11页
       ·变压变频控制第10页
       ·矢量控制第10-11页
       ·直接转矩控制第11页
     ·音圈电机和直线电机驱动器第11-13页
   ·本文主要研究内容第13-14页
第2章 宏微平台驱动系统分析第14-24页
   ·宏微驱动装置选择第14-15页
   ·直线电机驱动系统分析第15-22页
     ·直线电机工作原理第15-16页
     ·永磁同步直线电机数学模型第16-20页
     ·永磁同步电机的矢量控制策略第20-22页
   ·音圈电机驱动系统分析第22-23页
     ·音圈电机原理第22页
     ·音圈电机数学模型第22-23页
     ·音圈电机传递函数第23页
   ·本章小结第23-24页
第3章 宏动台驱动器设计第24-42页
   ·电流环调制方法第24-29页
     ·正弦磁通技术第24页
     ·SVPWM调制技术第24-29页
   ·死区效应分析第29-31页
     ·死区效应产生的原因第29-30页
     ·死区效应对电流环的影响第30-31页
   ·电流过采样技术第31-34页
     ·过采样对分辨率的影响第31-33页
     ·过采样技术的抗频谱混叠作用第33-34页
   ·宏动台驱动器软硬件设计第34-41页
     ·DSP最小系统第34-35页
     ·电流采样电路第35-38页
     ·AD转换电路第38-39页
     ·死区补偿第39-41页
   ·本章小结第41-42页
第4章 微动台驱动器设计第42-50页
   ·微驱动电路结构框图第42-43页
   ·电路设计及器件选择第43-47页
     ·功率放大电路第43-45页
     ·DA转换与信号叠加电路设计第45-46页
     ·电源设计第46-47页
   ·微动台驱动电路仿真第47-49页
   ·本章小结第49-50页
第5章 仿真与实验第50-61页
   ·宏动台驱动器性能仿真第50-55页
     ·电流环PID参数整定第50-52页
     ·控制系统电流环仿真第52-55页
   ·微动台驱动器实验第55-57页
     ·线性度测试第55-56页
     ·阶跃响应实验第56页
     ·电路带宽测试第56-57页
   ·宏动台驱动器实验第57-60页
     ·输出电流稳定性实验第58-59页
     ·电流过采样实验第59-60页
   ·本章小结第60-61页
结论第61-63页
参考文献第63-67页
致谢第67页

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