TMT三镜系统Tilt Mechanism组件技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-18页 |
| ·相关领域的研究现状 | 第18-21页 |
| ·本论文的主要内容及意义 | 第21-23页 |
| 第2章 刚度分配 | 第23-47页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·刚度分配 | 第24-29页 |
| ·系统模型简化 | 第29-33页 |
| ·简化模型实际作用质量计算 | 第33-41页 |
| ·刚度计算 | 第41-43页 |
| ·仿真分析 | 第43-45页 |
| ·组件级刚度分配 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 Tilt 轴系结构方案论证设计 | 第47-93页 |
| ·引言 | 第47-49页 |
| ·总体方案设计 | 第49-54页 |
| ·多轴方案设计与分析 | 第54-62页 |
| ·单轴方案设计与分析 | 第62-74页 |
| ·托架设计与分析 | 第74-78页 |
| ·轴系支撑方案设计与分析 | 第78-86页 |
| ·Tilt 组件传动机构的设计 | 第86-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第4章 关键部件分析及系统级仿真 | 第93-121页 |
| ·引言 | 第93-94页 |
| ·轴承摩擦建模及分析 | 第94-101页 |
| ·运动学接口设计 | 第101-113页 |
| ·系统建模仿真 | 第113-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 第5章 TMT 三镜系统误差分析 | 第121-147页 |
| ·三镜系统主要误差源 | 第121-122页 |
| ·静态误差 | 第122-126页 |
| ·动态误差 | 第126-136页 |
| ·误差合成及仿真 | 第136-146页 |
| ·本章小结 | 第146-147页 |
| 第6章 结论与展望 | 第147-151页 |
| ·论文主要研究成果与结论 | 第147-148页 |
| ·本文的创新点 | 第148页 |
| ·下一步工作及展望 | 第148-151页 |
| 参考文献 | 第151-161页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第161-163页 |
| 指导教师及作者简介 | 第163-165页 |
| 致谢 | 第165页 |
