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非晶硅微测辐射热计振动和冲击仿真研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·引言第12-13页
   ·非晶硅微测辐射热计第13-17页
     ·非晶硅热敏薄膜第13-15页
     ·微测辐射热计的工作原理第15页
     ·非晶硅微测辐射热计基本特性第15-17页
   ·微测辐射热计的振动和冲击第17-20页
     ·微桥结构振动和冲击第17-19页
     ·封装器件振动特性第19-20页
   ·论文的主要工作第20-22页
     ·选题意义第20-21页
     ·研究内容第21-22页
第二章 微测辐射热计力学基础研究第22-38页
   ·有限元法第22-24页
     ·有限元法的发展简况第22-23页
     ·有限元法基本思想及步骤第23页
     ·有限元法特点及应用第23-24页
   ·微测辐射热计模型第24-27页
     ·像元结构提取第24-25页
     ·有限元单元模型第25-26页
     ·模型及材料参数第26-27页
   ·静力学分析第27-30页
   ·模态分析第30-33页
     ·理论基础第30-31页
     ·模态仿真分析第31-33页
   ·屈曲分析第33-36页
     ·薄膜屈曲概论第33-34页
     ·屈曲分析第34-36页
   ·本章小结第36-38页
第三章 微测辐射热计振动和冲击性能研究第38-53页
   ·振动仿真第38-48页
     ·背景及理论基础第38-39页
     ·阻尼系统及随机振动第39-43页
     ·微测辐射热计简谐振动仿真第43-46页
     ·微测辐射热计随机振动仿真第46-48页
   ·冲击仿真第48-52页
     ·背景及理论基础第48-49页
     ·微测辐射热计冲击仿真第49-52页
   ·本章小结第52-53页
第四章 微测辐射热计稀薄气体振动第53-61页
   ·稀薄气体来源第53-55页
     ·封装工艺缺陷第53-54页
     ·材料泄露第54页
     ·器件破损第54-55页
   ·振动平板模型第55-56页
     ·能量传递模型第55-56页
     ·Christian 模型第56页
   ·稀薄气体下微测辐射热计振动分析第56-60页
     ·压膜阻尼第56-57页
     ·振动气膜第57-60页
   ·本章小结第60-61页
第五章 微测辐射热计实物振动冲击试验及解剖分析第61-70页
   ·目的和条件第61-62页
   ·随机振动试验及分析讨论第62-63页
   ·冲击试验及分析讨论第63-69页
   ·本章小结第69-70页
第六章 结论与展望第70-72页
   ·工作总结第70-71页
   ·展望第71-72页
致谢第72-73页
参考文献第73-78页
附录第78-82页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第82-83页

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