非晶硅微测辐射热计振动和冲击仿真研究
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
第一章 绪论 | 第12-22页 |
·引言 | 第12-13页 |
·非晶硅微测辐射热计 | 第13-17页 |
·非晶硅热敏薄膜 | 第13-15页 |
·微测辐射热计的工作原理 | 第15页 |
·非晶硅微测辐射热计基本特性 | 第15-17页 |
·微测辐射热计的振动和冲击 | 第17-20页 |
·微桥结构振动和冲击 | 第17-19页 |
·封装器件振动特性 | 第19-20页 |
·论文的主要工作 | 第20-22页 |
·选题意义 | 第20-21页 |
·研究内容 | 第21-22页 |
第二章 微测辐射热计力学基础研究 | 第22-38页 |
·有限元法 | 第22-24页 |
·有限元法的发展简况 | 第22-23页 |
·有限元法基本思想及步骤 | 第23页 |
·有限元法特点及应用 | 第23-24页 |
·微测辐射热计模型 | 第24-27页 |
·像元结构提取 | 第24-25页 |
·有限元单元模型 | 第25-26页 |
·模型及材料参数 | 第26-27页 |
·静力学分析 | 第27-30页 |
·模态分析 | 第30-33页 |
·理论基础 | 第30-31页 |
·模态仿真分析 | 第31-33页 |
·屈曲分析 | 第33-36页 |
·薄膜屈曲概论 | 第33-34页 |
·屈曲分析 | 第34-36页 |
·本章小结 | 第36-38页 |
第三章 微测辐射热计振动和冲击性能研究 | 第38-53页 |
·振动仿真 | 第38-48页 |
·背景及理论基础 | 第38-39页 |
·阻尼系统及随机振动 | 第39-43页 |
·微测辐射热计简谐振动仿真 | 第43-46页 |
·微测辐射热计随机振动仿真 | 第46-48页 |
·冲击仿真 | 第48-52页 |
·背景及理论基础 | 第48-49页 |
·微测辐射热计冲击仿真 | 第49-52页 |
·本章小结 | 第52-53页 |
第四章 微测辐射热计稀薄气体振动 | 第53-61页 |
·稀薄气体来源 | 第53-55页 |
·封装工艺缺陷 | 第53-54页 |
·材料泄露 | 第54页 |
·器件破损 | 第54-55页 |
·振动平板模型 | 第55-56页 |
·能量传递模型 | 第55-56页 |
·Christian 模型 | 第56页 |
·稀薄气体下微测辐射热计振动分析 | 第56-60页 |
·压膜阻尼 | 第56-57页 |
·振动气膜 | 第57-60页 |
·本章小结 | 第60-61页 |
第五章 微测辐射热计实物振动冲击试验及解剖分析 | 第61-70页 |
·目的和条件 | 第61-62页 |
·随机振动试验及分析讨论 | 第62-63页 |
·冲击试验及分析讨论 | 第63-69页 |
·本章小结 | 第69-70页 |
第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
·工作总结 | 第70-71页 |
·展望 | 第71-72页 |
致谢 | 第72-73页 |
参考文献 | 第73-78页 |
附录 | 第78-82页 |
攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第82-83页 |