| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 图表目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题的研究背景和科学意义 | 第10-11页 |
| ·非球面镜轮廓测量的研究现状与发展趋势 | 第11-18页 |
| ·国内外非球面镜轮廓测量技术的研究现状 | 第11-18页 |
| ·目前非球面轮廓扫描测量技术的发展趋势 | 第18页 |
| ·课题的来源 | 第18页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 非球面镜轮廓测量技术概述 | 第20-29页 |
| ·基于光干涉原理检测方法 | 第20-22页 |
| ·零检验法 | 第21-22页 |
| ·非零检验法 | 第22页 |
| ·几何光学检测法 | 第22-23页 |
| ·直接面形轮廓测量法 | 第23-25页 |
| ·光强比较测量法 | 第23页 |
| ·五棱镜反射测量法 | 第23-24页 |
| ·坐标测量法 | 第24-25页 |
| ·柱面面形的计算全息法干涉检测 | 第25-26页 |
| ·非球面轮廓摆臂式测量法 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 柱状非球面镜轮廓扫描拼接测试技术 | 第29-52页 |
| ·Taylor-Hobson PGI 840接触式轮廓仪的基本结构、性能参数及主要功能 | 第29-31页 |
| ·Taylor-Hobson PGI840接触式轮廓仪的主要功能 | 第31-40页 |
| ·Taylor-Hobson PGI840接触式轮廓仪的工作原理 | 第31-34页 |
| ·Taylor-Hobson PGI840接触式轮廓仪的操作界面 | 第34页 |
| ·Taylor-Hobson PGI840接触式轮廓仪的应用实例 | 第34-40页 |
| ·柱状非球面镜轮廓扫描偏摆测量系统的设计思路 | 第40-41页 |
| ·柱状非球面镜实际测量方案 | 第41-44页 |
| ·柱状非球面镜偏摆式实际测量原理 | 第41-43页 |
| ·柱状非球面镜偏摆式测量几何模型 | 第43-44页 |
| ·柱状非球面镜分段轮廓划分 | 第44-45页 |
| ·柱状非球面镜轮廓坐标变换与拼接算法 | 第45-47页 |
| ·柱状非球面镜实际扫描测量与轮廓拼接过程 | 第47-50页 |
| ·柱状非球面镜实际拟合参数与设计参数的对比 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 实际轮廓扫描测量误差分析 | 第52-74页 |
| ·PGI840接触式轮廓仪精度的标定 | 第52-60页 |
| ·标定球对PGI840轮廓仪精度的标定 | 第53-54页 |
| ·使用已知曲率工件对轮廓仪定位偏差的标定 | 第54-60页 |
| ·柱面镜与空间坐标轴之间的偏转角误差 | 第60-70页 |
| ·柱面镜与Z轴的偏转角 | 第60-65页 |
| ·柱面镜与Y轴的偏转角 | 第65-68页 |
| ·柱面镜与X轴的偏转角 | 第68-70页 |
| ·PGI840光学探针的影响 | 第70-73页 |
| ·光学探针尺寸的影响 | 第70-71页 |
| ·光学探针与在物体表层移动方向的影响 | 第71-72页 |
| ·光学探针测杆侧面的影响 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 5 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·全文总结 | 第74页 |
| ·有待解决的问题 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录 | 第81页 |
