Φ300mm硅片磨削测力仪研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题来源及意义 | 第8-9页 |
| ·课题研究背景及主要内容 | 第9-18页 |
| ·超精密磨削技术及磨削力检测方法 | 第9-13页 |
| ·国内外多分量测力仪研究现状 | 第13-17页 |
| ·课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 磨削测力仪方案设计 | 第18-32页 |
| ·硅片磨床的结构 | 第18页 |
| ·磨削测力仪的安装位置 | 第18-20页 |
| ·三向压电式传感器的结构 | 第20-22页 |
| ·压电传感器的布置方案分析 | 第22-31页 |
| ·压电传感器布置方案理论分析 | 第23-27页 |
| ·压电传感器布置方案有限元分析 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 磨削测力仪系统设计 | 第32-42页 |
| ·磨削测力仪设计 | 第32-35页 |
| ·磨削测力仪性能指标 | 第32页 |
| ·磨削测力仪结构设计 | 第32-34页 |
| ·磨削测力仪校核计算 | 第34-35页 |
| ·磨削测力仪标定装置设计 | 第35-37页 |
| ·磨削测力仪性能标定 | 第37-41页 |
| ·磨削测力仪标定系统 | 第37-38页 |
| ·磨削测力仪标定实验 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 磨削测力仪实验研究 | 第42-61页 |
| ·磨削测力仪偏心加载实验 | 第42-48页 |
| ·磨削测力仪标定数据 | 第42-46页 |
| ·磨削测力仪标定结果 | 第46-48页 |
| ·磨削测力仪磨削区域实验 | 第48-56页 |
| ·磨削测力仪标定数据 | 第48-51页 |
| ·磨削测力仪相间干扰分析 | 第51-56页 |
| ·磨削测力仪现场实验 | 第56-59页 |
| ·磨削测力仪现场静态标定 | 第57-58页 |
| ·磨削测力仪实际磨削实验 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 附录A 实物照片 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
