流体在圆筒内的超声驱动原理及抛光应用研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·非接触式超声压电作动器概述 | 第8-14页 |
| ·非接触式超声压电作动器的定义和特点 | 第8-10页 |
| ·非接触式超声压电作动器的研究现状 | 第10-13页 |
| ·液体煤质超声电机的用途及应用前景 | 第13-14页 |
| ·化学机械抛光技术的研究概况 | 第14-15页 |
| ·化学机械抛光技术的背景及研究现状 | 第14页 |
| ·化学机械抛光中抛光液的研究 | 第14-15页 |
| ·超声技术的应用 | 第15-18页 |
| ·超声技术在化学机械抛光中的应用 | 第15-16页 |
| ·流体振动抛光方法 | 第16-18页 |
| ·超声行波微流体驱动技术 | 第18页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 2 圆筒形压电振子的理论基础和流体超声驱动原理 | 第19-29页 |
| ·压电陶瓷的工作原理 | 第19-22页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第19-20页 |
| ·压电方程 | 第20-22页 |
| ·压电振子的振动模态及行波合成理论 | 第22-26页 |
| ·压电振子的振动模态 | 第22-23页 |
| ·行波的合成理论 | 第23-26页 |
| ·流体超声驱动原理 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 3 圆筒形压电振子的结构设计与有限元分析 | 第29-38页 |
| ·压电振子的基本结构 | 第29-30页 |
| ·振子双频驱动原理 | 第30-31页 |
| ·压电振子的振动模态分析 | 第31-37页 |
| ·基于有限元法的模态分析 | 第31-33页 |
| ·影响振动模态的因素 | 第33-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 圆筒形压电振子的性能测试 | 第38-48页 |
| ·实验仪器和测试原理 | 第38-39页 |
| ·实验仪器 | 第38页 |
| ·测试原理 | 第38-39页 |
| ·振子共振状态下的振型测试 | 第39-43页 |
| ·振子的固有频率 | 第39-41页 |
| ·振子的周向振幅测试 | 第41-43页 |
| ·振子的轴向振幅测试 | 第43页 |
| ·液体对圆筒形压电振子振动的影响 | 第43-47页 |
| ·影响振子谐振频率的因素 | 第43-45页 |
| ·影响振子振幅的因素 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 5 圆筒形压电振子在流体振动抛光中的应用 | 第48-59页 |
| ·流体转速特性分析 | 第48-50页 |
| ·流体振动抛光系统设计 | 第50-54页 |
| ·圆筒芯装置设计 | 第51-52页 |
| ·反馈装置设计 | 第52-53页 |
| ·散热装置设计 | 第53-54页 |
| ·硅片抛光实验 | 第54-56页 |
| ·实验结果分析 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
