致谢 | 第1-6页 |
摘要 | 第6-8页 |
Abstract | 第8-10页 |
目录 | 第10-13页 |
第一章 绪论 | 第13-33页 |
·研究背景 | 第13-14页 |
·非球面的数学定义与几何参数 | 第14-18页 |
·幂多项式非球面(经典非球面) | 第14-15页 |
·Q正交多项式非球面(Forbes非球面) | 第15-17页 |
·非球面几何参数 | 第17-18页 |
·非球面光学元件加工方法 | 第18-23页 |
·研磨 | 第19-20页 |
·抛光 | 第20-21页 |
·局部修正 | 第21-23页 |
·非球面面形检测技术研究现状 | 第23-30页 |
·零位干涉法 | 第24-26页 |
·非零位干涉法 | 第26-28页 |
·子孔径拼接法 | 第28-30页 |
·本文主要研究内容及创新点 | 第30-33页 |
·主要研究内容 | 第30-31页 |
·主要的创新点 | 第31-33页 |
第二章 非零位干涉环形子孔径拼接检测技术 | 第33-67页 |
·非零位ASSI检测技术 | 第33-35页 |
·基本原理 | 第33-34页 |
·非零位ASSI系统的存在性 | 第34-35页 |
·非零位ASSI系统仿真 | 第35-45页 |
·基于光学设计软件的系统仿真 | 第35-37页 |
·基于自编光线追迹的系统仿真 | 第37-45页 |
·环形子孔径划分策略与非球面相对位置关系 | 第45-49页 |
·基于像面波前斜率的环带划分策略 | 第45-47页 |
·环形子孔径划分实例 | 第47-49页 |
·干涉图位相解调技术 | 第49-62页 |
·多帧移相干涉图解调及自动孔径确定 | 第49-51页 |
·单帧闭环条纹干涉图位相解调 | 第51-62页 |
·波前正交分解技术 | 第62-65页 |
·Zernike多项式 | 第63-64页 |
·最小二乘波前正交分解技术 | 第64-65页 |
·本章小结 | 第65-67页 |
第三章 非零位ASSI系统回程误差校正与子孔径拼接技术 | 第67-93页 |
·非零位ASSI系统中的回程误差校正问题 | 第67-68页 |
·基于逆向优化的系统回程误差校正技术 | 第68-76页 |
·单孔径ROR算法 | 第69-72页 |
·多孔径ROR算法 | 第72-75页 |
·ROR算法误差分析 | 第75-76页 |
·基于理论参考波前的系统回程误差校正技术 | 第76-81页 |
·TRW算法 | 第76-79页 |
·TRW算法误差分析 | 第79-80页 |
·多孔径ROR与TRW算法比较 | 第80-81页 |
·子孔径拼接方法 | 第81-90页 |
·子孔径逐次拼接 | 第81-83页 |
·子孔径全局拼接 | 第83-87页 |
·子孔径拼接误差分析 | 第87-90页 |
·本章小结和完整的非零位ASSI检测流程 | 第90-93页 |
第四章 非零位ASSI系统误差分析与校正 | 第93-115页 |
·PCS误差分析与控制 | 第94-102页 |
·PCS模型误差分析与控制 | 第94-96页 |
·PCS对准误差分析与校正 | 第96-102页 |
·非球面误差分析与校正 | 第102-113页 |
·非球面定位误差分析和校正 | 第103-108页 |
·非球面对准误差分析与校正 | 第108-113页 |
·本章小结 | 第113-115页 |
第五章 非零位ASSI系统检测实验 | 第115-137页 |
·非零位ASSI实验系统 | 第115-117页 |
·实验系统布局 | 第115-116页 |
·验证实验设计 | 第116-117页 |
·非零位ASSI拼接检测实验 | 第117-125页 |
·系统仿真 | 第117-118页 |
·系统实验 | 第118-120页 |
·利用多孔径ROR算法校正回程误差并重构非球面面形 | 第120-123页 |
·利用TRW方法校正回程误差并拼接非球面面形 | 第123-125页 |
·非零位ASSI无拼接检测实验 | 第125-129页 |
·利用单孔径ROR算法校正回程误差并重构非球面面形 | 第126-128页 |
·利用TRW算法校正回程误差 | 第128-129页 |
·零位检测实验与结果比对 | 第129-135页 |
·无像差法和Verifire检测实验 | 第129-131页 |
·几种方法检测结果对比 | 第131-135页 |
·本章小结 | 第135-137页 |
第六章 总结与展望 | 第137-141页 |
·本文工作总结 | 第137-140页 |
·未来工作展望 | 第140-141页 |
参考文献 | 第141-151页 |
附录 | 第151-155页 |
1. 条纹Zernike多项式(共37项) | 第151-152页 |
2. 标准Zernike圆形多项式(前37项) | 第152-153页 |
3. 标准Zernike环形多项式(前28项) | 第153-155页 |
作者简历及攻读博士学位期间主要研究成果 | 第155-156页 |