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非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-10页
目录第10-13页
第一章 绪论第13-33页
   ·研究背景第13-14页
   ·非球面的数学定义与几何参数第14-18页
     ·幂多项式非球面(经典非球面)第14-15页
     ·Q正交多项式非球面(Forbes非球面)第15-17页
     ·非球面几何参数第17-18页
   ·非球面光学元件加工方法第18-23页
     ·研磨第19-20页
     ·抛光第20-21页
     ·局部修正第21-23页
   ·非球面面形检测技术研究现状第23-30页
     ·零位干涉法第24-26页
     ·非零位干涉法第26-28页
     ·子孔径拼接法第28-30页
   ·本文主要研究内容及创新点第30-33页
     ·主要研究内容第30-31页
     ·主要的创新点第31-33页
第二章 非零位干涉环形子孔径拼接检测技术第33-67页
   ·非零位ASSI检测技术第33-35页
     ·基本原理第33-34页
     ·非零位ASSI系统的存在性第34-35页
   ·非零位ASSI系统仿真第35-45页
     ·基于光学设计软件的系统仿真第35-37页
     ·基于自编光线追迹的系统仿真第37-45页
   ·环形子孔径划分策略与非球面相对位置关系第45-49页
     ·基于像面波前斜率的环带划分策略第45-47页
     ·环形子孔径划分实例第47-49页
   ·干涉图位相解调技术第49-62页
     ·多帧移相干涉图解调及自动孔径确定第49-51页
     ·单帧闭环条纹干涉图位相解调第51-62页
   ·波前正交分解技术第62-65页
     ·Zernike多项式第63-64页
     ·最小二乘波前正交分解技术第64-65页
   ·本章小结第65-67页
第三章 非零位ASSI系统回程误差校正与子孔径拼接技术第67-93页
   ·非零位ASSI系统中的回程误差校正问题第67-68页
   ·基于逆向优化的系统回程误差校正技术第68-76页
     ·单孔径ROR算法第69-72页
     ·多孔径ROR算法第72-75页
     ·ROR算法误差分析第75-76页
   ·基于理论参考波前的系统回程误差校正技术第76-81页
     ·TRW算法第76-79页
     ·TRW算法误差分析第79-80页
     ·多孔径ROR与TRW算法比较第80-81页
   ·子孔径拼接方法第81-90页
     ·子孔径逐次拼接第81-83页
     ·子孔径全局拼接第83-87页
     ·子孔径拼接误差分析第87-90页
   ·本章小结和完整的非零位ASSI检测流程第90-93页
第四章 非零位ASSI系统误差分析与校正第93-115页
   ·PCS误差分析与控制第94-102页
     ·PCS模型误差分析与控制第94-96页
     ·PCS对准误差分析与校正第96-102页
   ·非球面误差分析与校正第102-113页
     ·非球面定位误差分析和校正第103-108页
     ·非球面对准误差分析与校正第108-113页
   ·本章小结第113-115页
第五章 非零位ASSI系统检测实验第115-137页
   ·非零位ASSI实验系统第115-117页
     ·实验系统布局第115-116页
     ·验证实验设计第116-117页
   ·非零位ASSI拼接检测实验第117-125页
     ·系统仿真第117-118页
     ·系统实验第118-120页
     ·利用多孔径ROR算法校正回程误差并重构非球面面形第120-123页
     ·利用TRW方法校正回程误差并拼接非球面面形第123-125页
   ·非零位ASSI无拼接检测实验第125-129页
     ·利用单孔径ROR算法校正回程误差并重构非球面面形第126-128页
     ·利用TRW算法校正回程误差第128-129页
   ·零位检测实验与结果比对第129-135页
     ·无像差法和Verifire检测实验第129-131页
     ·几种方法检测结果对比第131-135页
   ·本章小结第135-137页
第六章 总结与展望第137-141页
   ·本文工作总结第137-140页
   ·未来工作展望第140-141页
参考文献第141-151页
附录第151-155页
 1. 条纹Zernike多项式(共37项)第151-152页
 2. 标准Zernike圆形多项式(前37项)第152-153页
 3. 标准Zernike环形多项式(前28项)第153-155页
作者简历及攻读博士学位期间主要研究成果第155-156页

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