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NiO:Li薄膜的阻变特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-7页
引言第7-8页
第一章 绪论第8-16页
   ·阻变式随机存储器研究介绍第8-11页
   ·NiO 薄膜材料及 NiO 薄膜材料阻变式随机存储器研究现状第11-15页
   ·本论文研究目的及科学意义第15-16页
第二章 NiO:Li 薄膜 PLD 制备及物性研究第16-23页
   ·NiO:Li 薄膜的制备第16-19页
     ·NiO:Li 靶材的制备第17-18页
     ·衬底的选择及其薄膜生长的过程第18-19页
   ·PLD 生长参数对 NiO:Li 薄膜结构和晶体质量的影响第19-21页
     ·衬底温度第19-20页
     ·生长气氛和气体分压第20-21页
   ·PLD 生长参数对 NiO:Li 薄膜电学性质的影响第21-22页
     ·衬底温度的影响第21-22页
     ·生长气氛和气体分压的影响第22页
   ·本章小结第22-23页
第三章 NiO:Li 薄膜阻变特性研究第23-33页
   ·NiO:Li 薄膜的形貌及光学性质表征第23-26页
   ·基于 Pt/NiO:Li/Pt/SiO2/Si 结构的阻变特性研究第26-32页
   ·本章小结第32-33页
第四章 结论第33-34页
参考文献第34-37页
致谢第37页

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