| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 图表清单 | 第9-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| ·课题背景 | 第13-14页 |
| ·微坑阵列加工技术研究进展 | 第14-23页 |
| ·微坑阵列在工程中的特点及应用 | 第14-15页 |
| ·微坑阵列加工技术 | 第15-19页 |
| ·微坑阵列电解加工技术 | 第19-23页 |
| ·本课题研究意义及主要内容 | 第23-24页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第23页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 掩膜电解加工理论基础 | 第24-29页 |
| ·电解加工理论 | 第24-25页 |
| ·电解加工基本原理 | 第24页 |
| ·电解加工特点 | 第24-25页 |
| ·法拉第定律 | 第25页 |
| ·掩膜电解加工分析 | 第25-28页 |
| ·干膜辅助电解加工电场分析 | 第25-27页 |
| ·活动模板电解加工电场分析 | 第27-28页 |
| ·掩膜电解加工间隙 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 活动模板电解加工圆柱内表面微小凹坑阵列试验研究 | 第29-47页 |
| ·活动模板电解加工微小凹坑阵列试验介绍 | 第29-30页 |
| ·活动模板电解加工微小凹坑阵列基本原理 | 第29页 |
| ·微坑定域性影响因素分析 | 第29-30页 |
| ·活动模板电解加工微小凹坑阵列系统 | 第30-33页 |
| ·电解加工机床 | 第30-31页 |
| ·电解加工电源 | 第31页 |
| ·电解液循环系统 | 第31-32页 |
| ·微坑检测设备 | 第32-33页 |
| ·活动模板电解加工圆柱内表面微小凹坑阵列夹具设计 | 第33-37页 |
| ·电场及流场布局 | 第33-34页 |
| ·掩模板与工件的贴合方案 | 第34-35页 |
| ·分度装置方案 | 第35-36页 |
| ·夹具方案确定 | 第36-37页 |
| ·阳极工件的选择及活动模板的制作 | 第37-40页 |
| ·阳极工件的选择 | 第37-38页 |
| ·活动模板的制作 | 第38-40页 |
| ·圆柱体内表面电解加工微小凹坑阵列试验研究 | 第40-46页 |
| ·冲液压力对微坑形貌的影响 | 第40-41页 |
| ·电流密度对微坑形貌的影响 | 第41-43页 |
| ·微坑电解加工定域性及深径比影响因素研究 | 第43-46页 |
| ·活动模板电解加工微小凹坑阵列在气缸套工作表面的应用 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 干膜辅助电解加工微小凹坑阵列试验研究 | 第47-66页 |
| ·干膜辅助电解加工微小凹坑阵列试验简介 | 第47页 |
| ·干膜辅助电解加工微小凹坑阵列基本原理 | 第47-48页 |
| ·干膜介绍及光刻工艺 | 第48-54页 |
| ·干膜介绍 | 第48-49页 |
| ·干膜光刻工艺 | 第49-54页 |
| ·干膜辅助电解加工微小凹坑阵列基础试验 | 第54-65页 |
| ·试验系统 | 第54-55页 |
| ·夹具设计 | 第55-56页 |
| ·电场分布解决方案 | 第56-57页 |
| ·干膜辅助电解加工微坑阵列工艺试验 | 第57-61页 |
| ·干膜辅助电解加工微坑阵列在圆柱内表面的应用 | 第61-63页 |
| ·干膜辅助电解加工微坑阵列的最小尺寸 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·总结 | 第66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表（录用）论文情况 | 第72页 |