| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 引言 | 第9-15页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外三分量地震勘探技术的发展和研究状况 | 第10-11页 |
| ·国内外 MOMES 的发展和研究状况 | 第11-13页 |
| ·本文主要工作 | 第13-15页 |
| 2 MOEMS 三分量加速度地震检波器简谐振子的设计 | 第15-25页 |
| ·简谐振子的工作原理 | 第15页 |
| ·经典简谐振子的运动方程 | 第15-16页 |
| ·光弹效应 | 第16-17页 |
| ·两种三分量全光纤加速度地震检波器简谐振子的比较 | 第17-20页 |
| ·顺变柱体型三分量加速度地震检波器的简谐振子 | 第17-18页 |
| ·迈克尔逊型三分量加速度地震检波器的简谐振子 | 第18-20页 |
| ·MOEMS 三分量加速度地震检波器简谐振子结构 | 第20-24页 |
| ·一体化式三分量加速度地震检波器简谐振子 | 第20-22页 |
| ·组合式三分量加速度地震检波器简谐振子 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 三分量加速度地震检波器的特性分析 | 第25-39页 |
| ·三分量加速度地震检波器的静态特性分析 | 第25-27页 |
| ·灵敏度 | 第25-27页 |
| ·最小可检测加速度 | 第27页 |
| ·三分量加速度地震检波器的动态特性分析 | 第27-35页 |
| ·三分量加速度地震检波器的力学分析 | 第28-32页 |
| ·三分量加速度地震检波器的阶跃响应 | 第32-33页 |
| ·三分量加速度地震检波器的幅频和相频特性 | 第33-35页 |
| ·三分量加速度地震检波器的固有频率 | 第35-37页 |
| ·三分量加速度地震检波器的工作频带 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 简谐振子的有限元法分析 | 第39-59页 |
| ·有限元法基本原理 | 第39-45页 |
| ·有限元法的基本思想 | 第39-40页 |
| ·单元分析 | 第40-43页 |
| ·弹性力学空间问题 | 第43-45页 |
| ·有限元法的分析步骤 | 第45页 |
| ·ANSYS 简介 | 第45页 |
| ·简谐振子的三维有限元分析 | 第45-58页 |
| ·创建有限元模型 | 第45-52页 |
| ·施加载荷并求解 | 第52-53页 |
| ·查看结果 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 简谐振子微加工工艺研究 | 第59-65页 |
| ·单晶硅的各向异性腐蚀 | 第59-63页 |
| ·反应机理 | 第60-61页 |
| ·硅单晶在 KOH 溶液中的腐蚀速率 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 6 总结及展望 | 第65-67页 |
| ·论文总结 | 第65页 |
| ·待进行的工作 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简历 | 第71-73页 |
| 学位论文数据集 | 第73页 |