硬盘盘片表面缺陷检测装置光学系统设计

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-14页
·表面缺陷检测技术的国内外现状	第7-12页
·本文研究的目的和意义	第12页
·本文研究的主要内容	第12-13页
小结	第13-14页
第二章 盘片表面缺陷检测装置的原理	第14-22页
·检测装置的结构和实现过程	第14-15页
·盘片表面特性	第15-16页
·装置中光电倍增管(PMT)的性质及作用	第16-19页
·装置中光电位置传感器(PSD)的性质及作用	第19-21页
小结	第21-22页
第三章 盘片表面散射模型的确定	第22-31页
·光散射理论	第22-23页
·散射模型介绍	第23-25页
·散射模型比较	第25-30页
·盘片表面散射模型的选取	第30页
小结	第30-31页
第四章 盘片表面疵病检测装置的光学系统设计	第31-47页
·光学系统自动设计原理	第31-32页
·检测装置光学系统基本结构	第32-33页
·激光整形系统设计	第33-36页
·散射光能收集系统的设计	第36-38页
·反射光分束系统的设计	第38-40页
·散射光收集系统与反射光分束系统合并设计	第40-42页
·系统的整体光学系统结构	第42-46页
小结	第46-47页
总结	第47-48页
致谢	第48-49页
参考文献	第49-51页
研究生期间以第一作者发表的论文	第51页