| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·课题的研究现状 | 第11-12页 |
| ·研究的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 表面的描述与检测 | 第14-22页 |
| ·表面的统计特征参数 | 第14-16页 |
| ·高度函数(Height Function)和平均表面(Mean Surface Level) | 第14页 |
| ·表面均方根粗糙度(Root-Mean-Square Roughness) | 第14页 |
| ·高度分布的概率函数(Height Distribution Funtion) | 第14-15页 |
| ·自协方差函数(Autocovariance Function,ACF) | 第15页 |
| ·功率谱密度函数(Power-Spectral-Density Function,PSD) | 第15-16页 |
| ·表面质量的检测 | 第16-21页 |
| ·光学显微镜 | 第16页 |
| ·电子显微镜 | 第16-17页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第17-18页 |
| ·光散射法 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 透明基片的散射理论 | 第22-42页 |
| ·一阶微扰理论 | 第22-27页 |
| ·狄拉克边界条件 | 第23-25页 |
| ·纽曼边界条件 | 第25-26页 |
| ·理想导体边界条件 | 第26-27页 |
| ·J.M.Elson 的散射理论 | 第27-29页 |
| ·表面粗糙度引起的散射 | 第27-28页 |
| ·折射率起伏引起的散射 | 第28-29页 |
| ·电偶极子散射理论 | 第29-41页 |
| ·电偶极子在远场的散射电磁场 | 第29-33页 |
| ·基片表面上方粒子散射模型 | 第33-35页 |
| ·基片表面下方粒子散射模型 | 第35-36页 |
| ·基片的表面散射 | 第36-39页 |
| ·基片的体散射 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 透明基片体散射的消除 | 第42-48页 |
| ·消除体散射的理论方法 | 第42-44页 |
| ·数值模拟 | 第44-46页 |
| ·透明基片表面散射和体散射电场矢量的偏振角α和β | 第44-45页 |
| ·透明基片表面散射和体散射电场的振动方向间夹角φ | 第45-46页 |
| ·消除表面散射或体散射时检偏器的选偏角度ψ | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 实验与结果分析 | 第48-62页 |
| ·实验原理 | 第48-49页 |
| ·实验系统介绍 | 第49-50页 |
| ·实验数据处理 | 第50-51页 |
| ·实验结果 | 第51-59页 |
| ·相同基片的同一位置在不同入射角和散射角条件下的ARS | 第52-54页 |
| ·相同基片的不同位置在相同入射角和散射角条件下的ARS | 第54-57页 |
| ·不同基片在相同入射角和散射角条件下的ARS | 第57-59页 |
| ·实验误差分析 | 第59-61页 |
| ·系统的安装误差 | 第59页 |
| ·零均值噪声 | 第59页 |
| ·外部可控噪声 | 第59-60页 |
| ·偏振片的透光率对实验的影响 | 第60页 |
| ·激光器对实验系统的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结 | 第62-64页 |
| ·主要工作总结 | 第62-63页 |
| ·不足与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第68-69页 |
| 附录A 菲涅耳系数 | 第69页 |
