基于光微环谐振器的硅基电光调制器的设计及实现

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-11页
·研究背景及意义	第7-8页
·硅基电光调制器的研究现状	第8-9页
·本文的目的和各部分的主要内容	第9-11页
2 光波导模式特性分析及脊型波导单模单偏条件	第11-20页
·麦克斯韦方程物质方程边界条件	第11-12页
·三层均匀平板波导	第12-15页
·标量亥姆霍兹方程	第12-13页
·三层平板波导的模式方程和模场解	第13-15页
·脊型波导 有效折射率法	第15-17页
·硅基脊型波导的单模特性	第17-20页
3 光微环谐振器滤波特性分析及性能优化	第20-37页
·光微环谐振器的基本原理	第20-21页
·基于光微环谐振器的硅基电光调制器的基本原理	第21-22页
·光微环谐振器滤波特性分析	第22-30页
·传输矩阵法	第22页
·单环滤波特性	第22-24页
·耦合系数和损耗对微环滤波性能的影响	第24-28页
·耦合系数的定义及计算	第28-30页
·微环谐振器性能优化	第30-37页
·直波导传输损耗	第30-33页
·弯曲波导的辐射损耗	第33-34页
·波导与光纤的耦合损耗	第34-37页
4 硅基电光调制器电学结构特性的研究	第37-50页
·硅的等离子色散效应	第37-38页
·pin电学调制结构设计	第38-47页
·几种电学调制结构的介绍	第38-40页
·pin电学调制结构的分析、模拟和设计	第40-47页
·pin电光调制中热光效应的影响	第47-50页
5 硅基微环谐振器与电光调制器的制作和测试	第50-62页
·制作工艺介绍	第50页
·硅基微环谐振器的制作与测试	第50-55页
·硅基微环谐振器的制作	第50-51页
·硅基微环谐振器的测试	第51-55页
·硅基电光调制器的制作与测试	第55-62页
·硅基电光调制器的制作	第55-57页
·硅基电光调制器的测试	第57-62页
6 结论与展望	第62-63页
·结论	第62页
·展望	第62-63页
致谢	第63-64页
参考文献	第64-67页