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绝缘层对有机薄膜晶体管性能影响的研究

致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7-9页
第9-12页
1 引言第12-17页
   ·有机薄膜晶体管的研究进展第13-14页
   ·有机薄膜晶体管的应用领域第14-15页
   ·目前有机薄膜晶体管存在的问题和发展趋势第15-16页
   ·本论文的主要研究内容第16-17页
2 有机薄膜晶体管的基本知识第17-27页
   ·有机薄膜晶体管材料第17-19页
     ·有机场效应晶体管的半导体材料第17-18页
     ·有机薄膜晶体管的绝缘层材料第18页
     ·有机薄膜晶体管的电极材料第18-19页
   ·有机薄膜晶体管的器件结构和制备方法第19-22页
     ·有机薄膜晶体管的器件结构第19-20页
     ·有机薄膜晶体管的制备方法第20-22页
   ·有机薄膜晶体管的工作机理和性能参数第22-27页
     ·场效应晶体管简介第22-23页
     ·有机薄膜晶体管的工作机理第23-25页
     ·表征有机薄膜晶体管器件电学性能的主要参数第25-27页
3 实验方法第27-32页
   ·材料的选取第27-28页
   ·器件的制备第28-32页
     ·栅极的制备及基片的清洗第28页
     ·绝缘层的制备第28-30页
     ·有源层和源漏电极的制备第30-32页
4 有机半导体薄膜的生长第32-35页
   ·薄膜生长过程概述第32-33页
   ·硅基上并五苯薄膜的生长第33-35页
5 无机材料为绝缘层的有机薄膜晶体管的研究第35-41页
   ·硅基上以电子束制备的SiO_2和Si_3N_4为绝缘层的OTFT第35-38页
     ·实验部分第35-36页
     ·结果与分析第36-38页
   ·硅基上以磁控溅射制备的氮化硅薄膜为绝缘层的OTFT第38-40页
   ·本章小结第40-41页
6 有机材料PMMA为绝缘层的有机薄膜晶体管的研究第41-51页
   ·ITO玻璃基片上以SiO_2和PMMA为绝缘层的OTFT第41-45页
     ·实验部分第41页
     ·结果与分析第41-45页
   ·场效应迁移率与工作电压关系的研究第45-48页
   ·厚度不同的PMMA绝缘层的OTFT的研究第48-50页
     ·实验部分第48页
     ·结果与分析第48-50页
   ·本章小结第50-51页
7 有机无机复合绝缘层有机薄膜晶体管的研究第51-55页
   ·实验部分第51-52页
   ·结果与分析第52-54页
     ·双绝缘层OTFT与以氮化硅为单绝缘层OTFT的比较第52-53页
     ·双绝缘层OTFT与以PMMA为单绝缘层OTFT的比较第53-54页
   ·本章小结第54-55页
8 结论第55-56页
参考文献第56-60页
作者简历第60-62页
学位论文数据集第62页

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