摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-6页 |
引言 | 第6-8页 |
第一章 NOR Flash概述 | 第8-17页 |
第一节 NOR Flash的基本结构 | 第8-11页 |
第二节 NOR Flash的工作原理 | 第11-17页 |
第二章 45nm NOR Flash的介绍 | 第17-22页 |
第一节 产品特点介绍 | 第17-19页 |
第二节 失效分析中的难点 | 第19-22页 |
第三章 45nm NOR Flash实现规模生产验证过程和失效分析的应用 | 第22-50页 |
第一节 生产验证目标的介绍 | 第22-24页 |
第二节 验证过程中的遇到的问题和解决方案 | 第24-48页 |
·筛选良率的提升 | 第25-34页 |
·质量验证DPM的降低 | 第34-41页 |
·封装的可靠性验证中失效芯片的分类 | 第41-48页 |
第三节 实现规模生产验证前后数据的比较 | 第48-50页 |
第四章 总结与展望 | 第50-53页 |
第一节 研究结论 | 第50-52页 |
第二节 展望 | 第52-53页 |
参考文献 | 第53-55页 |
致谢 | 第55-56页 |