| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 符号清单 | 第9-10页 |
| 插图清单 | 第10-11页 |
| 表格清单 | 第11-12页 |
| 引言 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·MEMS的基本概念 | 第13-15页 |
| ·MEMS技术发展历程 | 第15-16页 |
| ·MEMS技术的重要意义 | 第16-18页 |
| ·本论文研究的主要内容及创新点 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 MEMS表面结构三维测量与尺寸效应 | 第20-29页 |
| ·MEMS表面结构三维测量 | 第20-24页 |
| ·MEMS尺寸效应 | 第24-27页 |
| ·尺寸效应的基本特点 | 第24-25页 |
| ·尺寸的相对性和绝对性 | 第25-26页 |
| ·一些重要尺寸效应 | 第26-27页 |
| ·MEMS尺寸效应对表面三维测量评定影响分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 MEMS表面结构三维测量评定基础 | 第29-45页 |
| ·三维测量评定在新一代GPS标准体系具有重要位置 | 第29-32页 |
| ·表面结构三维测量评定基准面 | 第32-37页 |
| ·可用于MEMS表面结构三维测量参数 | 第37-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 MEMS表面结构规范化三维测量评定实现 | 第45-61页 |
| ·基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定 | 第45-53页 |
| ·MEMS表面结构与其功能特性 | 第45-46页 |
| ·MEMS表面结构质量影响MEMS功能的实例分析 | 第46-50页 |
| ·基于功能特性的MEMS系统表面三维测量评定参数研究 | 第50-53页 |
| ·MEMS表面结构三维测量参数识别提取 | 第53-56页 |
| ·MEMS表面结构规范化三维测量评定流程方案探索研究 | 第56-60页 |
| ·本章总结 | 第60-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-64页 |
| ·本文完成的任务总结 | 第61-62页 |
| ·本文研究的不足 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67页 |