对称共路外差干涉磁头飞行高度测量系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-29页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·国际研究现状综述 | 第12-25页 |
| ·绝对飞行高度测量 | 第12-20页 |
| ·白光三波长法 | 第12-15页 |
| ·圆偏振外差干涉法 | 第15-17页 |
| ·白光干涉法 | 第17-20页 |
| ·相对飞行高度测量 | 第20-25页 |
| ·目前方法存在的问题 | 第20-21页 |
| ·相对飞高测量与绝对飞高测量的比较 | 第21-22页 |
| ·硬盘磁头飞行性能的在线检测方法及飞高调制 | 第22-25页 |
| ·研究目标 | 第25-27页 |
| ·论文研究内容 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第二章 共光路双焦点外差干涉磁头飞行高度测量系统 | 第29-47页 |
| ·光学系统原理设计及实验 | 第29-35页 |
| ·系统原理方案 | 第30-33页 |
| ·静态间隙模拟实验 | 第33-35页 |
| ·稳定性实验 | 第33-34页 |
| ·比例系数标定实验 | 第34-35页 |
| ·方案及实验结果讨论 | 第35页 |
| ·系统样机建立 | 第35-44页 |
| ·总体方案 | 第35-42页 |
| ·光路布局 | 第37-38页 |
| ·器件选择及设计 | 第38-42页 |
| ·样机调试及初步实验 | 第42-43页 |
| ·系统样机改进 | 第43-44页 |
| ·关于原理实验和样机实验结果的讨论 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 对称共路双外差干涉磁头飞高测量系统 | 第47-59页 |
| ·系统构成和基本原理 | 第47-52页 |
| ·总体方案 | 第48-49页 |
| ·测量原理及光学系统设计 | 第49-52页 |
| ·系统样机设计实现 | 第52-58页 |
| ·在线飞高检测系统样机设计 | 第52-53页 |
| ·模拟飞高检测系统样机设计 | 第53页 |
| ·中频差横向塞曼激光器 | 第53-54页 |
| ·高速相位计 | 第54-55页 |
| ·对称共路自适应干涉仪 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第59-80页 |
| ·外差光源性能研究 | 第59-61页 |
| ·高速相位卡性能实验 | 第61-62页 |
| ·干涉仪系统静态标定实验 | 第62-63页 |
| ·系统稳定性实验 | 第63-68页 |
| ·在线系统静态稳定性实验与自适应 | 第63-65页 |
| ·硬盘启动实验及盘片姿态动态补偿 | 第65-67页 |
| ·模拟飞高系统静态稳定性实验及可行性验证 | 第67-68页 |
| ·在线飞高瞬态调制测量实验 | 第68-71页 |
| ·比例系数动态标定实验 | 第69-71页 |
| ·飞高瞬态调制测量实验 | 第71页 |
| ·非线性误差来源实验分析 | 第71-78页 |
| ·测点布置的影响 | 第72-74页 |
| ·偏振混叠造成的非线性误差 | 第74-75页 |
| ·电信号混叠非线性误差--相位卡比对实验 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 测量不确定度和系统误差分析 | 第80-102页 |
| ·飞高测量问题不确定度分析 | 第81-82页 |
| ·零飞高基准不确定度 | 第81-82页 |
| ·头盘静态准接触间隙不确定度 | 第82页 |
| ·对称共路外差干涉在线飞高测量系统误差分析 | 第82-100页 |
| ·非线性误差的机理 | 第83-91页 |
| ·比例系数标定实验结果的模型解释 | 第91-96页 |
| ·系统静态误差指标 | 第96页 |
| ·系统测量非线性环节引入误差指标 | 第96-97页 |
| ·小范围测量可忽略的误差 | 第97-98页 |
| ·零飞高基准动态测量不确定度合成 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第六章 工作总结和展望 | 第102-108页 |
| ·工作总结 | 第102-103页 |
| ·模拟飞高测量系统测量问题分析 | 第103-105页 |
| ·关于减少非线性误差的建议 | 第105-106页 |
| ·测量系统的应用展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的论文 | 第112页 |
