| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| 第一节 ZnO的结构和性质 | 第11-14页 |
| 第二节 ZnO薄膜的应用 | 第14-16页 |
| 第三节 ZnO薄膜的国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 第四节 本论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备方法及表征手段 | 第21-30页 |
| 第一节 脉冲激光沉积(PLD)技术 | 第21-24页 |
| 第二节 结构和性能的表征手段 | 第24-30页 |
| 第三章 氧缺陷对ZnO薄膜结构和光学性质的影响 | 第30-37页 |
| 第一节 引言 | 第30页 |
| 第二节 实验方法 | 第30-31页 |
| 第三节 实验结果与分析 | 第31-36页 |
| 第四节 本章结语 | 第36-37页 |
| 第四章 AlN层对ZnO薄膜结构和光学性质的影响 | 第37-43页 |
| 第一节 引言 | 第37-38页 |
| 第二节 实验方法 | 第38页 |
| 第三节 实验结果与分析 | 第38-42页 |
| 第四节 本章结语 | 第42-43页 |
| 第五章 Mg含量对Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质的影响 | 第43-49页 |
| 第一节 引言 | 第43-44页 |
| 第二节 实验方法 | 第44页 |
| 第三节 实验结果与分析 | 第44-48页 |
| 第四节 本章结语 | 第48-49页 |
| 第六章 结论 | 第49-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 后记 | 第55页 |