一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·选题的目的与意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究动态 | 第11-13页 |
| ·选题依据与主要工作 | 第13-16页 |
| 第二章 MEMS加速度传感器总体设计 | 第16-27页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·MEMS 加速度传感器分类及选型 | 第17-21页 |
| ·MEMS 加工制造技术 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 敏感元件的设计 | 第27-43页 |
| ·电容式加速度传感器工作原理 | 第27-29页 |
| ·敏感元件的结构设计与优化 | 第29-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 结构的有限元分析及优化 | 第43-61页 |
| ·ANSYS 的技术基础 | 第43-47页 |
| ·结构的参数及模型 | 第47-48页 |
| ·结构的静力分析 | 第48-55页 |
| ·结构的模态分析 | 第55-57页 |
| ·结构的谐响应分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 传感器闭环控制 | 第61-71页 |
| ·MEMS 加速度传感器C-V 转换原理 | 第61-64页 |
| ·敏感结构中的静电力作用 | 第64-65页 |
| ·开环与闭环工作模式 | 第65-69页 |
| ·闭环模式下系统的最大量程设计 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 结束语及展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·需要进一步研究的问题 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 个人发表的文章 | 第77页 |
