| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-21页 |
| 第1章 绪论 | 第21-41页 |
| 1． 1 引言 | 第21-26页 |
| 1． 1． 1 MEMS微电子机械系统 | 第21-23页 |
| 1． 1． 2 MEMS特点及应用领域 | 第23-26页 |
| 1． 2 微流体系统 | 第26-38页 |
| 1． 2． 1 微流体系统应用领域 | 第26-27页 |
| 1． 2． 2 微流量传感器的研究概况 | 第27-38页 |
| 1． 3 本课题的意义和主要研究工作 | 第38-41页 |
| 第2章 微流体流动特性 | 第41-50页 |
| 2． 1 微流体的流动状态分析 | 第41-43页 |
| 2． 1． 1 流体粘性 | 第41-42页 |
| 2． 1． 2 雷诺数 | 第42-43页 |
| 2． 2 层流流动中结构受力分析 | 第43-49页 |
| 2． 2． 1 低雷诺数流动的Navier-Stokes方程 | 第44-45页 |
| 2． 2． 2 边界层 | 第45-48页 |
| 2． 2． 3 结构受力分析 | 第48-49页 |
| 2． 3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 微流量传感器工作原理及工艺模拟 | 第50-59页 |
| 3． 1 工作原理 | 第50-51页 |
| 3． 2 IntelliSuite软件 | 第51-52页 |
| 3． 3 建构3D模型 | 第52-55页 |
| 3． 3． 1 主要步骤 | 第52-53页 |
| 3． 3． 2 建构3D具体操作 | 第53-55页 |
| 3． 4 悬臂梁制作工艺流程模拟 | 第55-58页 |
| 3． 5 本章小节 | 第58-59页 |
| 第4章 微流体流动状态模拟 | 第59-64页 |
| 4． 1 Microfluidic流体模块 | 第59页 |
| 4． 2 微流体分析步骤 | 第59-62页 |
| 4． 3 数据处理及分析 | 第62-63页 |
| 4． 4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 微流量传感器的制作 | 第64-76页 |
| 5． 1 结构设计 | 第64-65页 |
| 5． 2 工艺流程设计 | 第65-67页 |
| 5． 3 关键制备工艺 | 第67-75页 |
| 5． 3． 1 抛光工艺 | 第67-68页 |
| 5． 3． 2 掩膜层的制备 | 第68页 |
| 5． 3． 3 掩膜版设计及制备 | 第68-72页 |
| 5． 3． 4 光刻工艺 | 第72-73页 |
| 5． 3． 5 扩散工艺 | 第73-74页 |
| 5． 3． 6 腐蚀工艺 | 第74-75页 |
| 5． 4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第6章 实验结果与讨论 | 第76-81页 |
| 6． 1 微流量传感器的制备 | 第76-77页 |
| 6． 2 实验偏差及改进 | 第77-81页 |
| 6． 2． 1 偏差产生原因 | 第77-78页 |
| 6． 2． 2 改进措施 | 第78-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-90页 |
| 独创性声明 | 第90页 |