| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1．1 选题依据 | 第9-10页 |
| 1．1．1 课题的提出 | 第9-10页 |
| 1．1．2 课题来源 | 第10页 |
| 1．2 国内外研究概况 | 第10-15页 |
| 1．2．1 微气压传感器研究概况 | 第10-12页 |
| 1．2．2 自动化测试系统与仪器控制技术 | 第12-14页 |
| 1．2．3 真空测量的特点与微气压控制的研究 | 第14-15页 |
| 1．3 本文研究的内容 | 第15-16页 |
| 2 适用于SOC的微气压传感器及其对测试的要求 | 第16-25页 |
| 2．1 适用于SOC的微传感器 | 第16-17页 |
| 2．2 微加热板式微气压传感器的工作原理及其基本参数 | 第17-19页 |
| 2．2．1 微加热板式气压传感器的工作原理 | 第17-19页 |
| 2．2．2 微加热板式微气压传感器基本特性与参数 | 第19页 |
| 2．3 微加热板式微气压传感器的设计与制造 | 第19-23页 |
| 2．4 微气压传感器测试条件及测试系统的基本要求 | 第23-25页 |
| 2．4．1 微气压传感器测试条件 | 第23-24页 |
| 2．4．2 自动测试系统的基本要求 | 第24-25页 |
| 3 自动测试系统硬件设计 | 第25-42页 |
| 3．1 自动测试系统框架设计 | 第25-26页 |
| 3．2 真空获得装置的系统设计 | 第26-30页 |
| 3．2．1 真空室设计 | 第26-27页 |
| 3．2．2 基准真空计的选择 | 第27-28页 |
| 3．2．3 真空泵机组的选择 | 第28-29页 |
| 3．2．4 气动阀组及气体管路 | 第29-30页 |
| 3．3 仪器系统组建 | 第30-36页 |
| 3．3．1 程控加热电源 | 第30页 |
| 3．3．2 电动调节阀 | 第30-31页 |
| 3．3．3 质量流量控制器 | 第31-34页 |
| 3．3．4 仪器系统的连接 | 第34-36页 |
| 3．4 测试电路设计 | 第36-42页 |
| 4 自动测试系统软件设计 | 第42-73页 |
| 4．1 测试系统的软件设计框图 | 第42-45页 |
| 4．2 数据的采集与处理 | 第45-56页 |
| 4．2．1 多媒体定时器的应用 | 第45-47页 |
| 4．2．2 数据采集模块程序设计 | 第47-49页 |
| 4．2．3 数据存储与曲线显示 | 第49-51页 |
| 4．2．4 数据的后续处理 | 第51-56页 |
| 4．3 接口仪器控制软件设计 | 第56-63页 |
| 4．3．1 串口通讯 | 第56-58页 |
| 4．3．2 程控电源软件设计 | 第58-59页 |
| 4．3．3 模拟控制量输出程序设计 | 第59-62页 |
| 4．3．4 测试电路程序设计 | 第62-63页 |
| 4．4 微气压模糊控制算法设计 | 第63-73页 |
| 4．4．1 微气压控制系统方案 | 第63-66页 |
| 4．4．2 模糊控制 | 第66-73页 |
| 5 自动测试系统气压控制及传感器的实验研究 | 第73-79页 |
| 5．1 自动测试系统微气压模糊控制实验 | 第73-75页 |
| 5．2 传感器测试实验结果与分析 | 第75-79页 |
| 5．2．1 微加热板结构传感器的实验测试与分析 | 第75-77页 |
| 5．2．2 微加热板式气压传感器的初步测试 | 第77-79页 |
| 6 结论与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 附录A 测试系统实物图 | 第84页 |
| 附录B 测试电路实物图 | 第84-85页 |
| 附录C 其它实物图 | 第85-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第88页 |