薄膜热学特性研究
| 第一章 前言 | 第1-32页 |
| 1．1 微尺度热学研究简介 | 第10页 |
| 1．2 薄膜传热研究的意义和现状 | 第10-12页 |
| 1．3 薄膜传热研究的实验方法 | 第12-22页 |
| 1．3．1 薄膜热导率测量方法 | 第13-20页 |
| 1．3．2 薄膜热扩散率测量方法 | 第20-21页 |
| 1．3．3 薄膜热容的测量方法 | 第21-22页 |
| 1．4 微尺度传热的理论模型及分析方法 | 第22-23页 |
| 1．5 本论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-32页 |
| 第二章 薄膜热导率测量研究 | 第32-53页 |
| 2．1 引言 | 第32-33页 |
| 2．2 测量结构的设计 | 第33-36页 |
| 2．2．1 对现有典型结构的分析 | 第33-34页 |
| 2．2．2 桥状结构的提出 | 第34-36页 |
| 2．3 桥状结构热导率测量原理 | 第36-39页 |
| 2．3．1 一维傅立叶传热 | 第36页 |
| 2．3．2 有效加热电压和有效温度推导 | 第36-39页 |
| 2．4 器件的制作 | 第39-45页 |
| 2．4．1 温度传感器的选择 | 第39-40页 |
| 2．4．2 制作工艺简介 | 第40-41页 |
| 2．4．3 器件的工艺制作过程 | 第41-45页 |
| 2．5 实验结果 | 第45-47页 |
| 2．6 桥状结构在复合薄膜热导率测量中的应用 | 第47-48页 |
| 2．7 误差分析及减小误差的措施 | 第48-51页 |
| 2．8 本章小结 | 第51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第三章 薄膜热导率尺寸效应分析 | 第53-68页 |
| 3．1 传热的时间和空间效应 | 第53-54页 |
| 3．2 薄膜热参数尺寸效应简介 | 第54-55页 |
| 3．3 体材料热导率 | 第55-57页 |
| 3．4 薄膜材料热导率 | 第57-60页 |
| 3．4．1 金属薄膜热导率 | 第57-58页 |
| 3．4．2 半导体薄膜热导率 | 第58-59页 |
| 3．4．3 无定形材料薄膜热导率 | 第59-60页 |
| 3．5 LPCVD Si_3N_4薄膜热导率分析 | 第60-64页 |
| 3．5．1 边界效应 | 第61-63页 |
| 3．5．2 结构差异 | 第63-64页 |
| 3．6 本章小结 | 第64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 第四章 Si_3N_4薄膜比热容的测定 | 第68-89页 |
| 4．1 引言 | 第68页 |
| 4．2 热时间延迟法测量原理 | 第68-74页 |
| 4．2．1 大热容测量方法 | 第68-69页 |
| 4．2．2 薄膜热容测量结构的设计 | 第69-70页 |
| 4．2．3 热延迟时间法原理 | 第70-73页 |
| 4．2．4 有效加热电压和有效温度推导 | 第73-74页 |
| 4．3 悬膜热学特性模拟 | 第74-82页 |
| 4．3．1 静态热学模拟 | 第75-81页 |
| 4．3．2 动态热学模拟 | 第81-82页 |
| 4．4 悬膜测量结构的制作 | 第82-83页 |
| 4．5 实验结果及分析 | 第83-87页 |
| 4．5．1 实验结果 | 第83-86页 |
| 4．5．2 误差分析及解决方法 | 第86-87页 |
| 4．6 本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 第五章 微小薄膜热容测量新方法的研究 | 第89-104页 |
| 5．1 引言 | 第89页 |
| 5．2 测量原理 | 第89-94页 |
| 5．2．1 测量原理分析 | 第89-91页 |
| 5．2．2 有效电压推导 | 第91-94页 |
| 5．3 器件的设计及制作 | 第94-98页 |
| 5．3．1 器件的优化设计 | 第94-96页 |
| 5．3．2 器件的制作 | 第96-98页 |
| 5．4．实验结果及误差分析 | 第98-100页 |
| 5．4．1 实验及结果 | 第98-99页 |
| 5．4．2 误差分析 | 第99-100页 |
| 5．5 实验结果理论分析 | 第100-102页 |
| 5．6 本章小结 | 第102页 |
| 参考文献 | 第102-104页 |
| 第六章 结论 | 第104-107页 |
| 6．1 总结 | 第104-105页 |
| 6．2 创新点 | 第105页 |
| 6．3 展望 | 第105-107页 |
| 发表论文及成果清单 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
