碰撞对非对称射频等离子体鞘层物理特性的影响

1 引言	第1-11页
·研究射频等离子体鞘层的重要性	第7-8页
·射频等离子体鞘层的研究进展	第8-10页
·本文的研究计划	第10-11页
2 射频鞘层模型	第11-23页
·Liberman的无碰撞射频等离子体鞘层模型	第11-14页
·碰撞对非对称射频鞘层的影响	第14-23页
·鞘层电压	第18页
·放电电阻	第18-23页
3 放电气压对鞘层特性的影响	第23-33页
4 结论	第33-34页
5 研究工作总结与展望	第34-37页
参考文献	第37-39页
致谢	第39-41页