| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·智能结构和灵巧蒙皮 | 第7-9页 |
| ·微机电系统的发展概况 | 第9-10页 |
| ·基于MEMS的微型压力传感器及其应用 | 第10-12页 |
| ·本文的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 灵巧蒙皮表面压力测量的原理 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·飞机机翼表面压力分布 | 第13-15页 |
| ·空气流动的基本规律 | 第13-14页 |
| ·机翼表面压力分布 | 第14-15页 |
| ·光学式微型压力传感器的测量原理 | 第15-18页 |
| ·光纤传感技术 | 第15-17页 |
| ·光纤传感基本原理 | 第17-18页 |
| ·光强调制型微型压力传感器 | 第18页 |
| ·小结 | 第18-19页 |
| 第三章 基于光强调制测量原理的光学系统 | 第19-29页 |
| ·测量系统工作原理 | 第19-20页 |
| ·测量系统组成 | 第20-23页 |
| ·发光二极管 | 第20-21页 |
| ·光电探测器 | 第21-22页 |
| ·多模光纤 | 第22-23页 |
| ·传感器的光学响应分析 | 第23-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 第四章 FABRY-PEROT标准具微型压力传感器 | 第29-40页 |
| ·敏感元件的结构设计 | 第29-31页 |
| ·Fabry-Perot传感器示意结构 | 第29-30页 |
| ·结构优化设计 | 第30-31页 |
| ·传感器的制造工艺 | 第31-33页 |
| ·性能参数的计算与分析 | 第33-37页 |
| ·Fabry-Perot式微型压力传感器阵列 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第五章 改进敏感膜片的微型压力传感器 | 第40-52页 |
| ·敏感膜片的结构设计优化 | 第40-45页 |
| ·膜片变形分布状态 | 第40-44页 |
| ·膜片受力的应力分析 | 第44-45页 |
| ·敏感元件的结构设计 | 第45-47页 |
| ·制造工艺方案 | 第47-48页 |
| ·有限元仿真与敏感元件分辨率计算 | 第48-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 结束语 | 第52-55页 |
| 总结 | 第52-54页 |
| 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |