| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| ·惯性约束核聚变及其驱动器 | 第9页 |
| ·国际上取样光栅研究进展 | 第9-10页 |
| ·取样光栅国内研究进展及制作难点 | 第10-11页 |
| ·光栅槽形检测 | 第11-13页 |
| ·本课题主要研究工作 | 第13-15页 |
| 第二章 铬掩模占宽比测量原理及取样光栅刻蚀参数确定 | 第15-33页 |
| ·理论基础----严格耦合波理论 | 第15-21页 |
| ·矩形槽形的计算 | 第15-19页 |
| ·非矩形槽分层算法 | 第19-21页 |
| ·铬掩模占宽比测量原理 | 第21-25页 |
| ·取样光栅衍射效率分析与刻蚀参数设计 | 第25-32页 |
| ·取样光栅槽形对衍射效率的影响 | 第25-27页 |
| ·取样光栅刻蚀参数确定 | 第27-28页 |
| ·圆锥衍射对衍射效率计算的影响 | 第28-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 铬模腐蚀实验 | 第33-41页 |
| ·实验结果 | 第33-36页 |
| ·误差分析 | 第36-38页 |
| ·占宽比测量误差对取样光栅衍射效率影响 | 第38-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章 衍射效率测量 | 第41-54页 |
| ·衍射效率测量系统的构建 | 第41-44页 |
| ·扫描方式的选择与控制软件 | 第44-47页 |
| ·测量实例 | 第47-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |