| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·飞秒激光发展简述 | 第9页 |
| ·激光加工概述 | 第9-11页 |
| ·CO_2 激光器和Nd:YAG激光器 | 第10页 |
| ·紫外准分子激光器 | 第10-11页 |
| ·飞秒激光器 | 第11页 |
| ·飞秒激光微细加工的特点 | 第11-12页 |
| ·飞秒激光对透明固体电介质的微细加工 | 第12-16页 |
| ·本论文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第2章 飞秒激光与透明固体电介质相互作用理论 | 第18-24页 |
| ·飞秒激光诱导的光电离 | 第18-20页 |
| ·多光子电离和隧道电离 | 第18-19页 |
| ·碰撞电离 | 第19-20页 |
| ·飞秒激光诱导的等离子体产生 | 第20-22页 |
| ·飞秒激光诱导透明固体电介质的折射率改变 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 飞秒激光在熔融石英玻璃内直写光学波导 | 第24-52页 |
| ·光学波导制作 | 第24-26页 |
| ·光学波导的常用制作方法 | 第24-25页 |
| ·飞秒激光诱导折射率改变 | 第25-26页 |
| ·飞秒激光直写制作技术简介 | 第26-32页 |
| ·横向扫描与纵向扫描 | 第26-31页 |
| ·紧聚焦与松聚焦 | 第31-32页 |
| ·飞秒激光直写的光波导的性能表征 | 第32-34页 |
| ·飞秒激光加工装置介绍 | 第34-37页 |
| ·近红外飞秒激光在熔融石英内直写光波导 | 第37-48页 |
| ·横向扫描模式直写 | 第39-44页 |
| ·纵向扫描模式直写 | 第44-48页 |
| ·飞秒激光直写的光波导的测试 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 近红外飞秒激光在光敏玻璃上制作微结构 | 第52-75页 |
| ·光敏玻璃FOTURAN上微结构的传统紫外制作 | 第52-53页 |
| ·近红外飞秒激光与FOTURAN作用机理 | 第53-56页 |
| ·飞秒激光在FOTURAN上制作微结构 | 第56-73页 |
| ·表面诱导破坏点 | 第57-61页 |
| ·微凹面的制作 | 第61-65页 |
| ·竖直微孔的制作 | 第65-69页 |
| ·表面刻线及微流体沟道的制作 | 第69-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 近红外飞秒激光直写光纤光栅 | 第75-85页 |
| ·光纤光栅的发展 | 第75-78页 |
| ·光纤光栅的制作方法及特点 | 第78-81页 |
| ·光纤光栅的形成机理 | 第78-79页 |
| ·飞秒激光用于光纤光栅制作 | 第79-81页 |
| ·飞秒激光直写技术制作光纤光栅 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第6章 基于光子晶体光纤飞秒激光放大技术的微纳加工 | 第85-98页 |
| ·光子晶体光纤飞秒激光微纳加工系统 | 第85-89页 |
| ·高重复频率、高平均功率光子晶体光纤飞秒激光放大器 | 第85-88页 |
| ·微纳加工模块 | 第88-89页 |
| ·组建系统的微纳加工实验及讨论 | 第89-96页 |
| ·飞秒激光入射平均功率对硅片表面刻划直线的影响 | 第90-91页 |
| ·硅片表面刻划微图案 | 第91-93页 |
| ·金属薄膜上刻划微图案 | 第93-96页 |
| ·熔融石英玻璃内部刻划 | 第96页 |
| ·基于光子晶体光纤飞秒激光放大技术进行微纳加工的优势 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第7章 论文总结与改进 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-112页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第112-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
