| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·金刚石薄膜 | 第10-15页 |
| ·金刚石结构与形态 | 第10-11页 |
| ·金刚石薄膜性能与应用 | 第11-12页 |
| ·金刚石薄膜制备方法与形成机理 | 第12-15页 |
| ·硬质合金 | 第15-17页 |
| ·硬质合金分类 | 第15-16页 |
| ·硬质合金制备与性能 | 第16-17页 |
| ·金刚石薄膜/硬质合金基体粘附性能 | 第17-21页 |
| ·薄膜/基体粘附性能问题 | 第17-18页 |
| ·改善薄膜/基体粘附性能的方法 | 第18-21页 |
| ·评价薄膜/基体粘附性能的方法 | 第21页 |
| ·中间层的研究现状 | 第21-22页 |
| ·本论文的研究思路与内容 | 第22-25页 |
| 2 实验 | 第25-42页 |
| ·实验设备 | 第25-29页 |
| ·真空系统 | 第25-27页 |
| ·电控系统 | 第27页 |
| ·配气系统 | 第27-28页 |
| ·冷却系统 | 第28-29页 |
| ·测温方法 | 第29页 |
| ·实验参数 | 第29-38页 |
| ·热丝碳化 | 第29-30页 |
| ·衬底预处理 | 第30-31页 |
| ·气源、气压与工作温度 | 第31-32页 |
| ·偏压 | 第32-34页 |
| ·形核 | 第34页 |
| ·沉积金刚石-碳化硅-硅化钴中间层 | 第34-35页 |
| ·沉积纳米碳化硅中间层 | 第35-36页 |
| ·沉积顶层金刚石薄膜 | 第36页 |
| ·切削试验 | 第36-38页 |
| ·表征方法 | 第38-42页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第38页 |
| ·X射线衍射 | 第38-39页 |
| ·电子探针显微分析 | 第39页 |
| ·拉曼光谱 | 第39-40页 |
| ·红外光谱 | 第40页 |
| ·金相显微镜 | 第40页 |
| ·表面粗糙度 | 第40-41页 |
| ·洛氏C硬度 | 第41页 |
| ·摩擦磨损 | 第41-42页 |
| 3 实验结果与分析 | 第42-77页 |
| ·金刚石-碳化硅-硅化钴中间层及顶层金刚石薄膜 | 第42-61页 |
| ·衬底预处理 | 第42-44页 |
| ·偏流对金刚石-碳化硅-硅化钴薄膜的影响 | 第44-46页 |
| ·四甲基硅烷浓度对金刚石-碳化硅-硅化钴薄膜的影响 | 第46-49页 |
| ·残余应力分析 | 第49-51页 |
| ·金刚石薄膜的粘附性能 | 第51-61页 |
| ·纳米碳化硅中间层及顶层金刚石薄膜 | 第61-68页 |
| ·衬底预处理 | 第61-62页 |
| ·纳米碳化硅薄膜 | 第62-66页 |
| ·金刚石薄膜的粘附性能 | 第66-68页 |
| ·金刚石涂层刀片 | 第68-77页 |
| ·刀片预处理 | 第68-71页 |
| ·金刚石涂层 | 第71-73页 |
| ·切削试验 | 第73-77页 |
| 4 讨论 | 第77-83页 |
| ·钴的影响 | 第77页 |
| ·金刚石-碳化硅-硅化钴中间层 | 第77-79页 |
| ·纳米碳化硅中间层 | 第79-80页 |
| ·金刚石薄膜的粘附性能 | 第80-81页 |
| ·刀具磨损失效机理 | 第81-83页 |
| 结论 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |