| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·声表面波技术 | 第9-10页 |
| ·声表面波的发展概况及仿真技术研究现状 | 第10-12页 |
| ·声表面波的发展概况 | 第10页 |
| ·声表面波仿真技术及研究现状 | 第10-11页 |
| ·多层膜声表面波仿真技术及研究现状 | 第11-12页 |
| ·选题的依据及研究内容 | 第12-14页 |
| ·选题的依据 | 第12-13页 |
| ·研究的内容 | 第13-14页 |
| 第二章 声表面波的基本仿真模型 | 第14-22页 |
| ·δ函数模型 | 第14-15页 |
| ·脉冲响应模型 | 第15页 |
| ·等效电路模型 | 第15-20页 |
| ·P 矩阵模型 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 声表面波谐振器及 COM 模型 | 第22-33页 |
| ·声表面波谐振器 | 第22-26页 |
| ·单端口谐振器 | 第22-24页 |
| ·双端口谐振器 | 第24-26页 |
| ·COM 模型 | 第26-32页 |
| ·金属反射栅传输矩阵[ G ] | 第27-28页 |
| ·叉指电极传输矩阵[T ] | 第28-30页 |
| ·延迟距离传输矩阵[ D ] | 第30页 |
| ·双端口声表面波谐振器的传输矩阵 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 (100)AlN/(111)Diamond 多层膜结构的频散效应 | 第33-47页 |
| ·材料常数的计算 | 第33-38页 |
| ·(111)Diamond 材料常数的计算 | 第33-34页 |
| ·(100)AlN 材料常数的确定 | 第34-36页 |
| ·(100)AlN 与(111)Diamond 的材料常数 | 第36-38页 |
| ·(100)AlN/(111)Diamond 多层膜结构的频散效应 | 第38-46页 |
| ·多层膜的克里斯托夫（Christoffel）方程及边界条件 | 第38-39页 |
| ·(100)AlN/(111)Diamond 多层膜结构的频散效应 | 第39-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 声表面波器件的有限元仿真 | 第47-63页 |
| ·YZ-LiNbO_3压电晶体的有限元仿真 | 第47-56页 |
| ·多层膜结构谐振器的有限元仿真 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 全文总结及展望 | 第63-64页 |
| ·全文总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
