| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-12页 |
| 图目录 | 第12-16页 |
| 表目录 | 第16-17页 |
| 1 绪论 | 第17-31页 |
| ·引言 | 第17-18页 |
| ·光调制器和光开关的概述 | 第18-19页 |
| ·硅材料与它的载流子色散效应 | 第19-20页 |
| ·环形谐振腔的研究进展 | 第20-28页 |
| ·环形谐振腔的基本结构 | 第20-21页 |
| ·环形谐振腔的发展 | 第21-23页 |
| ·基于环形谐振腔的光调制器和光开关结构 | 第23-28页 |
| ·研究意义和所做的工作 | 第28-31页 |
| 2 环形谐振腔的光调制器与光开关 | 第31-55页 |
| ·环形谐振腔的基本组成结构及其分析方法 | 第31-32页 |
| ·环形谐振腔的器件的分析方法 | 第32-33页 |
| ·环形谐振腔的基本特性 | 第33-37页 |
| ·单总线耦合的环形谐振腔的基本特性 | 第33-36页 |
| ·双总线耦合的环形谐振腔的基本特性 | 第36-37页 |
| ·基于微环谐振器的光调制器和光开关 | 第37-53页 |
| ·比较的前提 | 第37-39页 |
| ·基于环形谐振腔的光调制器和光开关的一般结构 | 第39-50页 |
| ·特性比较 | 第50-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 3 利用双总线耦合的环形谐振腔作为双光束干涉器的光开关 | 第55-71页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·基于DBCRR的双光束干涉器 | 第55-70页 |
| ·开关结构 | 第58-65页 |
| ·容差分析 | 第65-68页 |
| ·考虑调制伴随着损耗的情况 | 第68-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 4 工艺制作与实验结果 | 第71-89页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·基本结构和参数仿真 | 第71-74页 |
| ·基本结构 | 第71-72页 |
| ·参数仿真 | 第72-74页 |
| ·工艺流程和结果 | 第74-75页 |
| ·工艺流程 | 第74-75页 |
| ·完成后的器件 | 第75页 |
| ·测试方案及设备 | 第75-77页 |
| ·测试结果及分析 | 第77-88页 |
| ·单总线耦合的环形谐振腔光调制器 | 第77-82页 |
| ·环加强型马赫-曾德尔光调制器 | 第82-84页 |
| ·基于双环耦合器结构的光开关 | 第84-88页 |
| ·小结 | 第88-89页 |
| 5 总结与展望 | 第89-91页 |
| ·总结 | 第89-90页 |
| ·展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-101页 |
| 个人简历 | 第101页 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 | 第101页 |