| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-35页 |
| 1.1 微波放电等离子体 | 第13-23页 |
| 1.1.1 ECR微波等离子体 | 第13-18页 |
| 1.1.2 表面波等离子体 | 第18-19页 |
| 1.1.3 谐振腔式微波等离子体 | 第19-23页 |
| 1.2 金刚石薄膜及其制备 | 第23-27页 |
| 1.3 Co-N磁性材料及其制备 | 第27-32页 |
| 1.3.1 Co-N磁性材料简介 | 第27-30页 |
| 1.3.2 Co-N磁性材料制备 | 第30-32页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第32-35页 |
| 第二章 微波谐振腔等离子体装置建设 | 第35-53页 |
| 2.1 导波传输理论 | 第35-38页 |
| 2.1.1 导波的分类 | 第35-36页 |
| 2.1.2 导波的传输与截止 | 第36-38页 |
| 2.2 不同类型波导的特性 | 第38-47页 |
| 2.2.1 矩形波导的特性 | 第38-41页 |
| 2.2.2 圆形波导及谐振腔的特性 | 第41-46页 |
| 2.2.3 同轴线波导的特性 | 第46-47页 |
| 2.3 微波模式转换 | 第47-49页 |
| 2.3.1 同轴线—矩形波导转换 | 第47-48页 |
| 2.3.2 同轴线—圆形波导转换 | 第48-49页 |
| 2.4 装置各部件尺寸选择 | 第49-51页 |
| 2.5 微波实验装置 | 第51-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 微波谐振腔CH_4/H_2/Ar等离子体特性与薄膜沉积 | 第53-83页 |
| 3.1 发射光谱与质谱诊断原理 | 第53-57页 |
| 3.1.1 光谱诊断粒子相对浓度变化 | 第53-56页 |
| 3.1.2 等离子体电子温度的光谱近似 | 第56-57页 |
| 3.1.3 气相分子的质谱分析 | 第57页 |
| 3.2 等离子体光谱和质谱实验装置 | 第57-59页 |
| 3.3 等离子体特性研究 | 第59-72页 |
| 3.3.1 甲烷浓度的影响 | 第60-62页 |
| 3.3.2 氩气浓度的影响 | 第62-64页 |
| 3.3.3 气压的影响 | 第64-68页 |
| 3.3.4 微波功率的影响 | 第68-70页 |
| 3.3.5 气体流量的影响 | 第70-72页 |
| 3.4 谐振腔等离子体沉积金刚石薄膜 | 第72-81页 |
| 3.4.1 基底位形的影响 | 第73-77页 |
| 3.4.2 甲烷浓度的影响 | 第77-79页 |
| 3.4.3 气压的影响 | 第79-81页 |
| 3.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 第四章 ECR等离子体沉积Co-N薄膜 | 第83-101页 |
| 4.1 铁磁性材料 | 第83-87页 |
| 4.1.1 磁性简介 | 第83-86页 |
| 4.1.2 铁磁性材料的磁滞回线与分类 | 第86-87页 |
| 4.2 实验方法 | 第87-90页 |
| 4.2.1 实验装置及原理 | 第87-89页 |
| 4.2.2 实验步骤 | 第89页 |
| 4.2.3 薄膜的测试方法 | 第89-90页 |
| 4.3 实验参数对Co-N薄膜特性的影响 | 第90-99页 |
| 4.3.1 源气体中N_2/Ar比例的影响 | 第90-95页 |
| 4.3.2 基底温度的影响 | 第95-97页 |
| 4.3.3 Co靶偏压的影响 | 第97-99页 |
| 4.4 本章小结 | 第99-101页 |
| 第五章 总结与展望 | 第101-103页 |
| 5.1 本论文主要工作 | 第101-102页 |
| 5.2 进一步研究方向 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第114页 |