阳极键合用RAS系微晶玻璃电学/热学性能及其析晶动力学研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-24页 |
| ·阳极键合技术 | 第11-16页 |
| ·键合技术的发展 | 第12-14页 |
| ·阳极键合技术的应用 | 第14-16页 |
| ·微晶玻璃材料 | 第16-19页 |
| ·微晶玻璃的制备 | 第16-17页 |
| ·微晶玻璃的特点 | 第17-18页 |
| ·微晶玻璃的应用 | 第18-19页 |
| ·阳极键合用微晶玻璃材料 | 第19-22页 |
| ·阳极键合用微晶玻璃研究现状 | 第19-20页 |
| ·阳极键合用微晶玻璃的析晶动力学与性能 | 第20-22页 |
| ·课题的目的及意义 | 第22-24页 |
| ·目的及意义 | 第22页 |
| ·主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验与测试 | 第24-28页 |
| ·样品的制备 | 第24-26页 |
| ·基础玻璃的制备 | 第24-25页 |
| ·微晶玻璃的制备 | 第25-26页 |
| ·微日玻璃的结构与性能测试 | 第26-28页 |
| ·差热分析 | 第26页 |
| ·X射线衍射分析 | 第26页 |
| ·扫描电子显微镜测试 | 第26页 |
| ·微晶玻璃介电性能测试 | 第26-27页 |
| ·微晶玻璃体电导率测试 | 第27页 |
| ·热膨胀系数测定 | 第27-28页 |
| 第三章 阳极键合RAS系微晶玻璃电学/热学性能 | 第28-54页 |
| ·微晶玻璃晶相分析 | 第30-31页 |
| ·微晶玻璃显微结构分析 | 第31-36页 |
| ·组成及热处理对其电导率的影响 | 第36-39页 |
| ·组成及热处理对其介电常数的影响 | 第39-45页 |
| ·电介质的介电常数与极化 | 第39-43页 |
| ·微晶玻璃介电常数的温度特性 | 第43-44页 |
| ·微晶玻璃介电常数的频率特性 | 第44-45页 |
| ·组成及热处理对其介电损耗的影响 | 第45-50页 |
| ·电介质的介电损耗 | 第45-48页 |
| ·微晶玻璃介电损耗的温度特性 | 第48页 |
| ·微晶玻璃介电损耗的频率特性 | 第48-50页 |
| ·热膨胀系数分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 阳极键合用RAS系微晶玻璃析晶动力学 | 第54-66页 |
| ·热分析动力学理论基础 | 第54-59页 |
| ·热分析动力学方法 | 第55-56页 |
| ·析晶动力学方程及参数 | 第56-58页 |
| ·RAS系基础玻璃差热分析 | 第58-59页 |
| ·微晶玻璃析晶活化能计算 | 第59-61页 |
| ·Ozawa方程计算 | 第59-60页 |
| ·Kissinger方程计算 | 第60-61页 |
| ·微晶玻璃析晶活化能 | 第61页 |
| ·微晶玻璃析晶晶化指数计算 | 第61-64页 |
| ·Ozawa 方程计算 | 第61-62页 |
| ·ΔT法计算 | 第62-63页 |
| ·微晶玻璃析晶晶化指数 | 第63-64页 |
| ·玻璃化转变活化能计算 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 结论及展望 | 第66-68页 |
| ·主要研究结论 | 第66-67页 |
| ·目前存在问题及展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73页 |
