| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-17页 |
| ·课题背景 | 第11-14页 |
| ·国内外溶胶-凝胶强激光光学薄膜的研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文研究方法和各章节的安排 | 第16-17页 |
| 第二章 溶胶-凝胶SiO_2/ZrO_2薄膜的制备与表征 | 第17-32页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·镀光学薄膜的基片 | 第17-19页 |
| ·光学玻璃 | 第17-18页 |
| ·基片的清洗 | 第18-19页 |
| ·胶体化学以及涂膜方式 | 第19-23页 |
| ·相关的胶体化学 | 第19-20页 |
| ·镀膜方式 | 第20-23页 |
| ·SiO_2 与 ZrO_2 薄膜的制备 | 第23-24页 |
| ·实验试剂 | 第23页 |
| ·实验仪器 | 第23页 |
| ·溶胶的配制和优化 | 第23-24页 |
| ·胶体配制过程的探讨 | 第24-25页 |
| ·本论文涉及的表征仪器 | 第25-31页 |
| ·椭偏仪 | 第25-27页 |
| ·紫外-可见（UV-VIS）分光光度计 | 第27-28页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第28页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS) | 第28页 |
| ·傅立叶变换红外（FT-IR）光谱 | 第28-29页 |
| ·光学显微镜 | 第29-30页 |
| ·静滴接触角测量仪 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 SiO_2/ZrO_2薄膜膜间渗透行为的研究 | 第32-61页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·多层高反膜光学基础 | 第32-36页 |
| ·SiO_2/ZrO_2多层高反膜膜系的优化设计 | 第32-34页 |
| ·四分之一波堆高反射膜的设计理论 | 第34页 |
| ·多层高反射膜的吸收和散射损耗 | 第34-35页 |
| ·四分之一波堆多层高反膜的驻波场效应 | 第35-36页 |
| ·SiO_2/ZrO_2膜间渗透问题的提出 | 第36-41页 |
| ·单层 SiO_2和 ZrO_2薄膜的原子力显微镜(AFM)观察 | 第36-37页 |
| ·SiO_2/ZrO_2双层膜和 ZrO_2/SiO_2双层膜的椭偏仪研究 | 第37-38页 |
| ·SiO_1/ZrO_2双层膜和 ZrO_2/SiO_2双层膜的 XPS 研究 | 第38-39页 |
| ·膜间渗透对多层膜的影响 | 第39-41页 |
| ·SiO_2/ZrO_2薄膜的氨热后处理的概述 | 第41-49页 |
| ·热处理对溶胶-凝胶薄膜的影响 | 第41-42页 |
| ·氨处理对溶胶-凝胶薄膜的影响 | 第42-45页 |
| ·溶胶-凝胶 SiO_2薄膜氨热两步后处理 | 第45-49页 |
| ·氨热后处理对膜间渗透的影响 | 第49-54页 |
| ·热处理对 SiO_2/ZrO_2双层膜渗透行为的影响 | 第49-52页 |
| ·氨热处理对 SiO_2/ZrO_2双层膜渗透行为的影响 | 第52-54页 |
| ·层间预填充可洗脱材料控制膜间渗透 | 第54-60页 |
| ·层间预填充萘 | 第54-55页 |
| ·层间预填充聚苯乙烯 | 第55-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第四章 光学薄膜强激光辐照损伤概述 | 第61-73页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·薄膜的损伤机理 | 第61-63页 |
| ·影响光学薄膜激光损伤阈值的因素 | 第63-68页 |
| ·光学薄膜方面的影响 | 第63-67页 |
| ·激光方面的影响 | 第67-68页 |
| ·薄膜损伤的判定方法 | 第68-69页 |
| ·损伤阈值测试的能量作用方式 | 第69-70页 |
| ·激光损伤阈值的确定方法 | 第70-72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第五章 溶胶-凝胶SiO_2/ZrO_2薄膜激光辐照损伤的研究 | 第73-84页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·实验装置 | 第73-74页 |
| ·溶胶-凝胶薄膜与传统物理膜损伤行为差异的对比研究 | 第74-79页 |
| ·样品的制备 | 第74页 |
| ·样品的表征 | 第74页 |
| ·损伤行为的差异及主要原因 | 第74-77页 |
| ·成膜机制的差异 | 第77-79页 |
| ·小结 | 第79页 |
| ·溶胶-凝胶SiO_2/ZrO_2双层膜辐照损伤对比实验 | 第79-82页 |
| ·溶胶-凝胶SiO_2/ZrO_2多层高反膜的辐照损伤 | 第82-83页 |
| ·ZrO_2/SiO_2高反膜不同能量密度下的损伤 | 第82-83页 |
| ·溶胶-凝胶 ZrO_2/SiO_2多层高反膜的激光损伤机制 | 第83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 第六章 总结与展望 | 第84-86页 |
| ·论文工作总结 | 第84-85页 |
| ·进一步工作的建议 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第91-92页 |
