| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-25页 |
| §1-1 研究背景 | 第10-14页 |
| §1-2 影响载流子迁移率的散射机制 | 第14-16页 |
| §1-3 金属氧化物晶体中的点缺陷及K-V 图 | 第16-20页 |
| 1-3-1 金属氧化物中的点缺陷 | 第16页 |
| 1-3-2 点缺陷的施主或受主作用及能级的位置 | 第16-17页 |
| 1-3-3 金属氧化物晶体点缺陷理论基础质量作用定律 | 第17-20页 |
| §1-4 ZAO 靶材研究现状 | 第20-23页 |
| §1-5 本论文的研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 ZnO陶瓷靶材性能表征手段及制膜设备简介 | 第25-30页 |
| §2-1 霍尔测试—Hall | 第25页 |
| §2-2 X 射线衍射—XRD | 第25-26页 |
| §2-3 扫描电子显微镜—SEM | 第26-27页 |
| §2-4 差热扫描量热法—DSC | 第27-28页 |
| §2-5 电子束加热反应蒸发法及设备介绍 | 第28-30页 |
| 2-5-1 电子束加热反应蒸发法 | 第28-29页 |
| 2-5-2 实验设备 | 第29-30页 |
| 第三章 电子束蒸发用 ZnO陶瓷靶材的制备及性能研究 | 第30-51页 |
| §3-1 粘合剂的选择 | 第30-31页 |
| §3-2 烧结末期烧结时间对靶材性质的影响 | 第31-37页 |
| 3-2-1 引言 | 第31页 |
| 3-2-2 烧结工艺曲线的初步确定 | 第31-35页 |
| 3-2-3 烧结末期保温时间的研究 | 第35-37页 |
| §3-3 粉末粒径对靶材性质的影响 | 第37-43页 |
| 3-3-1 引言 | 第37页 |
| 3-3-2 实验方法 | 第37-38页 |
| 3-3-3 实验结果及分析 | 第38-42页 |
| 3-3-4 小结 | 第42-43页 |
| §3-4 烧结气氛对靶材性质的影响 | 第43-51页 |
| 3-4-1 引言 | 第43页 |
| 3-4-2 实验方法 | 第43-44页 |
| 3-4-3 实验结果及分析 | 第44-50页 |
| 3-4-4 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 结 论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55页 |