| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·课题研究意义及目的 | 第11-14页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·研究任务 | 第12-14页 |
| ·论文的组织架构 | 第14-15页 |
| 第二章 倾角传感器的原理及设计方案 | 第15-24页 |
| ·倾角传感器的基本原理 | 第15-16页 |
| ·当前倾角传感器的主流类型 | 第16-17页 |
| ·参考设计的分析与比较 | 第17-19页 |
| ·双轴光电倾角传感器 | 第17-18页 |
| ·MEMS 低功耗倾角传感器 | 第18-19页 |
| ·本课题设计方案 | 第19-22页 |
| ·整体构思 | 第19-22页 |
| ·设计重点 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 传感液体槽的设计与仿真实验 | 第24-35页 |
| ·动态液体数学模型 | 第24-27页 |
| ·域方程描述 | 第25-26页 |
| ·边界条件描述 | 第26-27页 |
| ·COMSOL Multiphysics 仿真平台的搭建 | 第27-31页 |
| ·仿真实验结果与分析 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 信号检测与采集的原理及方法 | 第35-48页 |
| ·光信号检测的原理 | 第35-40页 |
| ·光信号检测的基本特性 | 第36-37页 |
| ·半导体光电二极管的信号检测原理 | 第37-38页 |
| ·硅光电二极管的特性分析 | 第38-40页 |
| ·PIN 硅光电二极管的制作工艺 | 第40-44页 |
| ·版图设计 | 第40-42页 |
| ·MEMS 制作工艺简述 | 第42-43页 |
| ·制作工艺流程设计 | 第43-44页 |
| ·信号采集电路 | 第44-46页 |
| ·放大器增益分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 信号放大器的设计与仿真 | 第48-67页 |
| ·信号放大器的设计 | 第48-54页 |
| ·放大器结构 | 第49-51页 |
| ·设计指标拟定 | 第51-52页 |
| ·理论参数计算 | 第52-54页 |
| ·Cadence 仿真结果及参数讨论 | 第54-60页 |
| ·设计小结与版图 | 第60-61页 |
| ·设计改进 | 第61-66页 |
| ·设计参数 | 第63-64页 |
| ·改进设计的仿真结果 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 总结与展望 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |