| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 喷墨打印的分类和发展 | 第9-14页 |
| 1.1.1 喷墨打印的分类 | 第9-13页 |
| 1.1.2 喷墨打印的发展 | 第13-14页 |
| 1.2 国内研究现状和研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2.1 国内喷墨打印技术研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 研究意义 | 第15页 |
| 1.3 喷墨腔室制作工艺研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 湿法刻蚀工艺 | 第15-16页 |
| 1.3.2 微电铸工艺 | 第16-17页 |
| 1.3.3 牺牲层工艺 | 第17页 |
| 1.3.4 干膜层压工艺 | 第17-18页 |
| 1.3.5 粘结工艺 | 第18页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第18-20页 |
| 2 压电喷墨打印头腔室制作工艺方案 | 第20-26页 |
| 2.1 腔室材料选择 | 第20-22页 |
| 2.2 压电喷墨打印头喷墨腔室制作工艺方案 | 第22-25页 |
| 2.2.1 利用干膜层压工艺制作压电喷墨打印头喷墨腔室工艺方案 | 第22-24页 |
| 2.2.2 结合光刻和热键合工艺制作压电喷墨打印头喷墨腔室方案 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 压电喷墨打印头喷墨腔室结构设计 | 第26-36页 |
| 3.1 压电驱动器振动理论分析 | 第26-28页 |
| 3.1.1 压电原理 | 第26-27页 |
| 3.1.2 PZT振动机理 | 第27-28页 |
| 3.2 流体理论 | 第28-29页 |
| 3.2.1 流体流态判断 | 第28页 |
| 3.2.2 流体动力学控制方程 | 第28-29页 |
| 3.3 腔室结构设计 | 第29-35页 |
| 3.3.1 喷墨腔室仿真模型的建立 | 第29-32页 |
| 3.3.2 喷孔板厚度优化 | 第32-33页 |
| 3.3.3 喷孔孔径及类型优化 | 第33-34页 |
| 3.3.4 限流部结构设计 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 SU-8腔室键合工艺及参数研究 | 第36-53页 |
| 4.1 聚合物键合机理 | 第36-37页 |
| 4.2 SU-8光刻胶交联机理及测定 | 第37-40页 |
| 4.2.1 SU-8光刻胶交联机理 | 第37-38页 |
| 4.2.2 交联程度测定 | 第38-40页 |
| 4.3 聚合物力学性能 | 第40-42页 |
| 4.3.1 聚合物温度依赖性 | 第40-41页 |
| 4.3.2 聚合物时间依赖性 | 第41-42页 |
| 4.4 表面改性处理 | 第42-44页 |
| 4.5 腔室质量评价指标 | 第44-47页 |
| 4.6 键合装置及参数优化 | 第47-51页 |
| 4.6.1 键合对准装置 | 第47页 |
| 4.6.2 键合参数确定 | 第47-48页 |
| 4.6.3 喷孔板参数优化 | 第48-51页 |
| 4.6.4 键合率优化 | 第51页 |
| 4.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 喷墨腔室喷孔制作及参数优化 | 第53-60页 |
| 5.1 光学曝光方式分析 | 第53-54页 |
| 5.2 邻近式曝光衍射原理分析 | 第54-55页 |
| 5.3 MATLAB模拟仿真与分析 | 第55-57页 |
| 5.4 曝光过程优化 | 第57-59页 |
| 5.4.1 优化曝光间隙的均匀性 | 第57-58页 |
| 5.4.2 曝光间隙的优化 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 喷墨腔室制作工艺流程及测试 | 第60-65页 |
| 6.1 喷墨腔室制作工艺流程 | 第60-62页 |
| 6.2 充墨测试 | 第62-63页 |
| 6.3 喷墨测试 | 第63-64页 |
| 6.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |