线位移传感器校准装置的研制
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第6-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第6-7页 |
| 1.2 研究目的和意义 | 第7页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第7-11页 |
| 1.4 研究内容 | 第11-13页 |
| 2 线位移传感器校准装置的系统设计 | 第13-28页 |
| 2.1 校准装置主体机械的结构设计 | 第13-14页 |
| 2.2 气浮导轨传动系统的设计 | 第14-18页 |
| 2.3 安装夹具的设计 | 第18-21页 |
| 2.4 激光干涉测长系统的选型 | 第21-22页 |
| 2.5 环境参量测量仪器的选型及保温罩的设计 | 第22-25页 |
| 2.6 数字多用表的选型 | 第25-26页 |
| 2.7 安全防护的装置 | 第26-27页 |
| 2.8 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 线位移传感器校准装置的控制系统设计 | 第28-37页 |
| 3.1 MP451模块 | 第28-30页 |
| 3.2 MP422E模块 | 第30-33页 |
| 3.3 伺服驱动系统 | 第33-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 线位移传感器校准装置的软件设计 | 第37-45页 |
| 4.1 线位移传感器校准装置的总体设计 | 第37-39页 |
| 4.2 线位移传感器校准装置的功能设计 | 第39-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 线位移传感器校准装置的验证与实例分析 | 第45-55页 |
| 5.1 线位移传感器装置的验证 | 第45-46页 |
| 5.2 线位移传感器的校准实例分析 | 第46-50页 |
| 5.3 线位移传感器装置的不确定评定 | 第50-54页 |
| 5.3.1 标准不确定度的评定 | 第50-53页 |
| 5.3.2 合成不确定度 | 第53页 |
| 5.3.3 扩展不确定度 | 第53-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
