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TiN纳米电容器的构建及性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
1 绪论第10-19页
    1.1 课题背景及研究意义第10-11页
    1.2 电解电容器第11-14页
        1.2.1 纳米电容器及其研究进展第11-12页
        1.2.2 电解电容器的阳极材料及其研究进展第12-13页
        1.2.3 电介质材料及其研究进展第13-14页
    1.3 阳极TiO_2纳米管阵列第14-16页
        1.3.1 阳极TiO_2纳米管阵列的快速生长第14-15页
        1.3.2 基于阳极TiO_2纳米管的纳米材料的制备及其研究进展第15页
        1.3.3 阳极TiO_2纳米管的低温结晶技术第15-16页
    1.4 TiN纳米管阵列的制备第16页
    1.5 BaTiO_3简述第16-17页
    1.6 本文研究目的及研究内容第17-19页
        1.6.1 研究目的第17页
        1.6.2 研究内容第17-19页
2 TiN纳米管阵列膜的制备第19-32页
    2.1 实验部分第19-22页
        2.1.1 实验试剂及仪器第19-20页
        2.1.2 阳极TiO_2纳米管阵列的制备第20-21页
        2.1.3 TiN纳米管阵列的制备第21页
        2.1.4 TiO_2纳米管阵列和TiN纳米管阵列的表征及测试第21-22页
    2.2 结果与讨论第22-30页
        2.2.1 恒流法快速制备阳极TiO_2纳米管第22-23页
        2.2.2 退火温度对TiN纳米管形貌与性能的影响第23-27页
        2.2.3 保温时间对TiN纳米管形貌与组成的影响第27-28页
        2.2.4 升温速率对TiN纳米管形貌与性能的影响第28-30页
    2.3 本章小结第30-32页
3 TiN纳米管/TiO_2/电解液结构的纳米电容器的构建第32-43页
    3.1 实验部分第33-34页
        3.1.1 实验药品与仪器第33页
        3.1.2 TiN纳米管表面TiO_2电介质膜的制备第33页
        3.1.3 TiO_2电介质膜的二次氧化第33页
        3.1.4 TiN纳米管/TiO_2/电解液结构的纳米电容器的性能测试第33-34页
    3.2 结果与讨论第34-41页
        3.2.1 阳极氧化电压对TiO_2电介质膜性能的影响第34-37页
        3.2.2 阳极氧化温度TiO_2电介质膜性能的影响第37-38页
        3.2.3 阳极氧化时间对TiO_2电介质膜性能的影响第38-40页
        3.2.4 二次氧化对TiO_2电介质膜性能的影响第40-41页
    3.3 本章小结第41-43页
4 TiN纳米柱/TiO_2/电解液结构的纳米电容器的构建第43-56页
    4.1 实验内容第43-45页
        4.1.1 实验试剂及仪器第43-44页
        4.1.2 TiN纳米柱阵列的制备第44-45页
        4.1.3 TiO_2纳米柱阵列膜的结构表征第45页
        4.1.4 TiN纳米柱阵列膜的结构及性能表征第45页
        4.1.5 TiN纳米柱/TiO_2/电解液结构的纳米电容器的性能测试第45页
    4.2 结果与讨论第45-55页
        4.2.1 水热固-气反应时间对TiO_2纳米管形貌结构的影响第45-47页
        4.2.2 TiN纳米柱的形貌结构与性能研究第47-49页
        4.2.3 TiN纳米柱表面的TiO_2电介质膜的制备及其介电性能研究第49-55页
    4.3 本章小结第55-56页
5 Ti纳米柱/BaTiO_3/电解液结构的纳米电容器的构建第56-62页
    5.1 实验内容第56-57页
        5.1.1 实验试剂及仪器第56页
        5.1.2 水热法制备BaTiO_3电介质膜第56-57页
        5.1.3 BaTiO_3电介质膜的结构及介电性能表征第57页
    5.2 结果与讨论第57-61页
        5.2.1 碱浓度对BaTiO_3介电性能的影响第57-59页
        5.2.2 水热反应时间对BaTiO_3介电性能的影响第59-60页
        5.2.3 BaTiO_3电介质膜的极限工作电压测试第60-61页
    5.3 本章小结第61-62页
6 总结与展望第62-65页
    6.1 本文主要工作与结论第62-63页
    6.2 本文创新点第63页
    6.3 工作展望第63-65页
致谢第65-66页
参考文献第66-74页
附录第74页

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