| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第10-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-17页 |
| 1.1.1 压电材料和铁电材料 | 第10-13页 |
| 1.1.2 主要的钙钛矿铁电压电材料 | 第13-15页 |
| 1.1.3 铁电压电薄膜 | 第15-17页 |
| 1.1.4 铁电压电薄膜的应用 | 第17页 |
| 1.2 BiFeO_3概述 | 第17-23页 |
| 1.2.1 BiFeO_3基本介绍 | 第17-19页 |
| 1.2.2 BiFeO_3研究历史和现状 | 第19-20页 |
| 1.2.3 BiFeO_3薄膜的制备方法 | 第20-21页 |
| 1.2.4 BiFeO_3中掺杂的研究 | 第21-23页 |
| 1.3 BiFeO_3薄膜压电性能的研究进展 | 第23-26页 |
| 1.3.1 通过外延的应力调控MPB | 第24-25页 |
| 1.3.2 通过掺入Sm引起相变得到MPB | 第25-26页 |
| 1.4 论文的选题意义及主要研究内容 | 第26-28页 |
| 1.4.1 论文选题意义 | 第26-27页 |
| 1.4.2 论文研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第28-44页 |
| 2.1 溶胶凝胶法制备薄膜 | 第28-31页 |
| 2.1.1 溶胶凝胶法 | 第28-30页 |
| 2.1.2 快速热处理 | 第30-31页 |
| 2.2 结构表征 | 第31-36页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| 2.2.2 同步辐射和倒易空间图(RSM) | 第32-35页 |
| 2.2.3 拉曼光谱(Raman) | 第35-36页 |
| 2.3 形貌观察和畴形貌表征 | 第36-41页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第36-37页 |
| 2.3.2 透射电子显微镜(TEM) | 第37页 |
| 2.3.3 原子力显微镜(AFM) | 第37-39页 |
| 2.3.4 压电力显微镜(PFM) | 第39-41页 |
| 2.4 电学性能测试 | 第41-43页 |
| 2.4.1 压电性能 | 第41-42页 |
| 2.4.2 其他电学性能 | 第42-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 用PbO做晶种制备(001)织构BiFeO_3薄膜 | 第44-55页 |
| 3.1 引言 | 第44-45页 |
| 3.2 实验流程 | 第45-46页 |
| 3.3 PbO晶种层诱导的织构BiFeO_3薄膜 | 第46-52页 |
| 3.3.1 相结构和微观形貌 | 第46-50页 |
| 3.3.2 电学性能 | 第50-52页 |
| 3.4 织构机理 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 Sm、Ti掺杂对BiFeO_3薄膜的影响 | 第55-77页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 Sm掺杂量对BiFeO_3的影响 | 第56-65页 |
| 4.2.1 实验流程 | 第56页 |
| 4.2.2 相结构和微观形貌 | 第56-60页 |
| 4.2.3 介电和铁电性能 | 第60-62页 |
| 4.2.4 压电性能和畴结构 | 第62-65页 |
| 4.3 Sm、Ti共掺杂对BiFeO_3薄膜漏电流的影响 | 第65-75页 |
| 4.3.1 实验流程 | 第65-66页 |
| 4.3.2 相结构和微观形貌 | 第66-67页 |
| 4.3.3 漏电流及缺陷 | 第67-69页 |
| 4.3.4 漏电流机制 | 第69-74页 |
| 4.3.5 电学性能 | 第74-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第5章 厚度效应对Sm掺杂BiFeO_3薄膜MPB的影响 | 第77-89页 |
| 5.1 引言 | 第77-78页 |
| 5.2 实验流程 | 第78页 |
| 5.3 相结构和微观形貌 | 第78-83页 |
| 5.4 电学性能 | 第83-86页 |
| 5.5 厚度效应对MPB的影响 | 第86-88页 |
| 5.6 本章小结 | 第88-89页 |
| 第6章 外延Sm掺杂BiFeO_3薄膜制备及原位畴结构研究 | 第89-103页 |
| 6.1 引言 | 第89-90页 |
| 6.2 实验流程 | 第90-93页 |
| 6.2.1 外延薄膜制备工艺 | 第90页 |
| 6.2.2 热处理工艺对外延性的影响 | 第90-93页 |
| 6.3 Sm掺杂BiFeO_3外延薄膜的原位变温研究 | 第93-102页 |
| 6.3.1 薄膜相结构和微观形貌 | 第94-97页 |
| 6.3.2 温度对畴结构和相结构的影响 | 第97-100页 |
| 6.3.3 温度对压电性能的影响 | 第100-102页 |
| 6.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 第7章 结论 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第119-121页 |
