| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 微动进给平台研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 压电陶瓷微动进给平台国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 压电陶瓷磁滞特性研究及控制策略 | 第10-13页 |
| 1.2.2 双驱控制技术研究 | 第13-16页 |
| 1.3 论文的课题来源 | 第16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-19页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器磁滞特性分析及实验 | 第19-35页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 Prandtl-Ishlinskii磁滞模型 | 第19-26页 |
| 2.2.1 Play算子 | 第19-21页 |
| 2.2.2 Prandtl-Ishlinskii模型建立 | 第21-23页 |
| 2.2.3 改进Prandtl-Ishlinskii模型建立 | 第23-26页 |
| 2.3 磁滞模型实验 | 第26-34页 |
| 2.3.1 磁滞模型求解方法 | 第26-27页 |
| 2.3.2 实验系统介绍 | 第27-31页 |
| 2.3.3 实验结果分析 | 第31-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 双压电微动进给平台动力学分析及辨识 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 双压电陶瓷微动进给平台动力学建模 | 第35-41页 |
| 3.2.1 双压电陶瓷驱动微动进给平台结构 | 第35-37页 |
| 3.2.2 双压电陶瓷驱动微动进给平台动力学建模 | 第37-41页 |
| 3.3 系统辨识与实验研究 | 第41-50页 |
| 3.3.1 系统辨识实验 | 第41-49页 |
| 3.3.2 辨识模型性能分析 | 第49-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 双压电陶瓷控制策略及仿真分析 | 第52-66页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 改进Prandtl-Ishlinskii逆模型前馈控制策略 | 第52-54页 |
| 4.3 双驱控制策略 | 第54-63页 |
| 4.3.1 主从控制 | 第55-56页 |
| 4.3.2 并联控制 | 第56-57页 |
| 4.3.3 交叉耦合控制 | 第57-58页 |
| 4.3.4 压电陶瓷控制器选择 | 第58-59页 |
| 4.3.5 控制策略仿真验证及比较 | 第59-63页 |
| 4.4 双压电陶瓷驱动复合控制策略 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 双压电驱动控制实验平台搭建及实验分析 | 第66-78页 |
| 5.1 引言 | 第66-67页 |
| 5.2 压电陶瓷驱动微动进给平台组成 | 第67-70页 |
| 5.3 双压电驱动复合控制策略实验研究 | 第70-77页 |
| 5.3.1 微动进给平台控制系统实验平台 | 第70-72页 |
| 5.3.2 双压电陶瓷驱动微动进给平台控制软件 | 第72-74页 |
| 5.3.3 控制策略实验研究 | 第74-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第6章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及成果 | 第85页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第85页 |
