高性能气浮平台隔振设计方法研究与应用
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 气浮平台的构成 | 第10页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4.1 空气弹簧 | 第10-11页 |
| 1.4.2 气浮平台 | 第11-12页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 气浮平台振动控制系统的分析理论 | 第14-22页 |
| 2.1 气浮平台隔振系统的基本分析理论 | 第14-16页 |
| 2.1.1 空气弹簧的力学特性 | 第14-15页 |
| 2.1.2 气浮平台隔振系统的基本原理 | 第15-16页 |
| 2.2 气浮平台的设计要素 | 第16-18页 |
| 2.2.1 空气弹簧的数量 | 第16-17页 |
| 2.2.2 空气弹簧的分布 | 第17页 |
| 2.2.3 台面位置控制 | 第17-18页 |
| 2.3 关键分析问题 | 第18-21页 |
| 2.3.1 固有频率 | 第18-19页 |
| 2.3.2 传递率分析 | 第19-20页 |
| 2.3.3 隔振效率 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 气浮平台振动控制系统的设计方案 | 第22-26页 |
| 3.1 常规的气浮平台振动控制设计方案 | 第22-23页 |
| 3.2 高效的气浮平台振动控制设计方案 | 第23-25页 |
| 3.3 高效的气浮平台振动控制设计方案特点 | 第25页 |
| 3.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 工程案例应用 | 第26-45页 |
| 4.1 工程背景 | 第26页 |
| 4.2 环境振动水平测试 | 第26-32页 |
| 4.2.1 测试仪器 | 第26-29页 |
| 4.2.2 测试内容 | 第29-30页 |
| 4.2.3 测试数据分析 | 第30-32页 |
| 4.3 振动水平评价 | 第32-35页 |
| 4.4 有限元模拟 | 第35-41页 |
| 4.4.1 有限元数值模拟分析方法 | 第35-36页 |
| 4.4.2 有限元模型建立 | 第36页 |
| 4.4.3 参数设定及网格划分 | 第36-37页 |
| 4.4.4 定义边界条件及约束 | 第37-38页 |
| 4.4.5 模态分析 | 第38-39页 |
| 4.4.6 瞬态动力学分析 | 第39-41页 |
| 4.5 钢构支撑精密设备下沉悬梁施工技术 | 第41-44页 |
| 4.5.1 施工技术简要介绍 | 第41-42页 |
| 4.5.2 目前工程主要方法及其缺陷 | 第42页 |
| 4.5.3 施工技术主要详细内容 | 第42-43页 |
| 4.5.4 施工方法 | 第43页 |
| 4.5.5 施工方案技术特点 | 第43-44页 |
| 4.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 气浮平台隔振效率的影响因素 | 第45-49页 |
| 5.1 空气弹簧数量对隔振效率的影响 | 第45-46页 |
| 5.2 空气弹簧位置对隔振效率的影响 | 第46-47页 |
| 5.3 平台尺寸对隔振效率的影响 | 第47-48页 |
| 5.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论与展望 | 第49-51页 |
| 结论 | 第49页 |
| 展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 作者简介 | 第56-57页 |
